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一、引言近年来,随着高亮度液态金属离子源的出现,亚微米聚焦离子束技术迅速发展。FIB(聚焦离子束)在半导体和微型特殊器件制作技术中将发挥越来越大的作用。日本日立用B~+FIB无掩模注入Si中,制作出一种新型亚微米沟道长度器件—离子束MOSFET,它在电流增益、漏极击穿电压和短沟道阈值效应等方面都优于传统方法制造的同类器件;在FIB无掩模刻蚀、曝光技术中,已获得30nm的高分辨率的图案;FIB已成功地制成分辨率小于0.25μm的同步辐射光、X射线曝光用的掩模;利用FIB还可修理亚微米的掩模缺陷,目前已有商品FIB掩模修正仪问世;用FIB刻蚀亚微米小孔阵列,可加工超导电子学器件。本文报道在我们设计加工的FIB系统上刻蚀金膜、硅片及自显影FIB曝光的实验结果。本系统已能进行亚微米级微细加工工艺研究。 相似文献
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133.
农业面源污染正成为生态环境的主要问题,但其分散性、广泛性等特点又决定了其治理难度较大.本文通过对江西省果园种植面源污染情况、鼠茅草绿肥发展现状以及控制面源污染方面的技术优势进行分析.结果表明:鼠茅草绿肥技术优势明显,适用性强,应用效果十分显著.目前鼠茅草种子采集困难、价格昂贵,以及果农生态保护意识淡薄等问题,一定程度制约了该技术的推广应用.但因其在控制农业面源污染方面的作用契合生态文明建设战略,符合江西加快推进绿色发展的理念,若加以克服困难,具有广阔的应用前景. 相似文献
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135.
甲醇不同替代比率对DMCC排放影响的试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对比研究了加装氧化型催化转化器后,甲醇对柴油的不同替代比率条件下柴油/甲醇组合燃烧(DM-CC)系统发动机排放的差异.试验结果表明,为使DMCC发动机的Nox、THC和CO的综合排放最优,在低负荷时,替代率不宜超过22%;中等负荷时,保持35%的替代比率较为理想;大负荷时,替代率可以增加,但不宜超过50%.研究发现,起燃温度较低的氧化催化转化器对全面改善DMCC发动机排放起着非常重要的作用.本研究结果为使DMCC燃烧方式实现低排放提供了重要途径. 相似文献
136.
集贤县对治涝工程实行人力、资金集中投放,重点项目统一施工的方法,减少了浪费,加快了建设速度。近两年,全县100多个治涝工程项目全部做到当年建成,当年受益。集贤县安邦河、太平河、二道河子和丰北等四个涝区,受涝面积157万亩,占全县总土 相似文献
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我厂#7机系70年代生产的3150长网纸机,于1983年投入生产,日产新闻纸60t,车速为320In/min。为了提高产品质量,使纸页得到更好的匀度、平滑度和减小横幅定量差,并为纸机传动改造提高纸机车速做好准备,于1992年从波兰BELOIT-FAMPA公司引进部分关键设备,对”7机网部浆料流进系统、网案、卷取部和复卷机进行了技术改进。现将浆料上网系统改进情况介绍如下.1改进后上网系统流程的特点1·1增设了机外白水池,减小了网部白水进入网坑的冲击力,泡沫减少。1.2引进软片流浆箱,减少了纸页横幅定量差。1·3采用了进口可调速的上浆泵,… 相似文献
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1 INTRODUCTIONSeveralredoxcouplesincludingCe4 +/Ce3+,Mn3+/Mn2 +,Co3+/Co2 +andV5+/V4 +etchaveat tractedmuchattentioninindirectelectrosynthesisofsomeorganiccompoundsandinmediatedelectro chemicaloxidationofbenzene ,aniline ,phenolandchlorinatedorganicsetc[17] .Electrochemicalbehav ioroftheredoxcoupleCe4 +/Ce3+hasbeenstud ied[8,9] .Beingstrongandselectiveoxidizingagents ,vanadiumsalts ,comparedwithcoppersalts ,weremoreefficienttocatalyzetheoxidationoftoluenetobenzaldehydeviaelectrochemica… 相似文献
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140.
我国房地产市场的非诚信经营问题及其对策建议 总被引:3,自引:0,他引:3
价值规律是市场配置资源的灵魂。市场的等价交换规律决定了市场交换必须是平等的、双方自愿的,任何一方不能以任何方式制造不平等交易。因此,信用是市场交换及整个市场经济的灵魂所在。房地产市场作为我国市场体系的一个重要组成部分,尤其要注重以信用来规范市场行为,开发商的营销策略应不失诚恳、商业权谋应不失信用,诚信为本、策略为用才是企业经营之道。但是目前在我国的房地产市场中,由于开发商诚信缺失而导致的房地产纠纷接踵而至,这些房地产纠纷已成为制约我国房地产业发展的“瓶颈”。因此,我国房地产市场中的非诚信经营问题亟待解决… 相似文献