硅的等离子体深腐蚀

湿法化学腐蚀已被广泛地应用于敏感器件传感结构的微细加工中.近年来,在VLSI中等离子体干法腐蚀已成为获得细线条图形的可行技术.然而,干法腐蚀工艺无论是等离子体腐蚀或反应离子腐蚀,相对于湿法腐蚀来说都是比较慢的.在需要深腐蚀的应用中(如电子束光刻的对准符号刻蚀,电路隔离槽或敏感器件的微细结构腐蚀)当前都着力提高腐蚀速率.在传感器的开发中,主要问题之一是封装,为简化到处于测量环境的传感器的外部连接,希望通过传感器背面进行连接.在化学传感器中,背面连接最为有利.因为假如所有的引线都     

寄语21世纪淮河治理规划

回顾治淮50周年辉煌成就,感慨万分;展望治淮未来50年,思绪万千。 淮河在我国七大江河中是一条不大的流域,但在中国又是非常重要的一个流域,历朝历代都把淮河的治理纳入治国的重要方略之中,这是由于淮河流域的经济、地理和文化地位所决定的;淮河又是在我国大江大河治理中比较困难的一条河流,许多有识之土提出过治理淮     

Bi3+对纳米MnO2水热合成的影响研究

在中性和酸性条件下，以MnO2作为锰源，通过水热合成了纳米MnO2，通过XRD和TEM对产物进行的观察表明，在酸性条件下，向溶液中添加一定量的Bi^3 ，产物的晶型由α型向γ型转化，产物形貌由针状、丝状向颗粒状转变。     

二级光纤网在县至乡镇联网中的应用

本文以如东县已开通的二级我纤网为例，阐述了二级光纤网的应用，主要技术指标及其分配，设计方法和应注意事项。     

《高效节能型蒸汽喷射压缩器软件》答读者问

《高效节能型蒸汽喷射压缩器软件》答读者问中国环球化学工程公司游向东《高效节能型蒸汽喷射压缩器软件》一文在本刊１９９５年第５期刊载以来，引起了工厂从事节能改造工作的同志的重视，先后收到一些读者的来信和电话咨询，现就大家关心的几个问题答复如下，供读者参考...     

韩国标准化协会情况介绍

一、KSA概况 韩国标准化协会(KSA)始建于1962年,是非营利的政府认可机构,其主要任务是:通过提高标准化和质量管理水平,来改进产品质量和性能,促进国家工业的发展。 到1992年末,KSA共有3550个团体会员,其中生产企业占95.6％,社会团体占20％,政府机构占1.4％,其他占1.0％。 目前,KSA除总部外,还在全国设有12个地区性办事机构和一个培训中心。     

测量过程控制与企业计量保证的研究（二）

３．企业计量保证方法的应用如上所述，计量保证方法是计量保证方案的发展。利用计量保证方法在生产现场实现测量过程控制，实际上是借助计量保证方案的原理、方法、程序来解决生产过程中的计量检测任务。美国倡导的计量保证方法，就是利用核查标准与控制图实现对测量过程的控制。同时，也可以利用其它等效方法，如数字分析，实现对测量过程控制。还可以利用核查标准配合专门编制的计算机软件进行测量过程控制。例如，美国空间宇航合作公司利用“主控量规验证方案”（Ｈａｎｄ一ＴＯｄＶｅｒｉｎｃａｈｏｎＰｒｏｇｒａｍ）实现对机械加工车…     

利用外资债务风险问题分析

从债务风险、汇率变化分析、汇率与借款利率的关系、利用外资借款债务风险的防范等方面出发，研究了利用外资债务风险的问题。     

改革实验材料管理制度的设想

改革实验材料管理制度的设想中南工业大学王丽群，袁乐平实验材料费在高校实验成本中占很大的比重，目前由于管理制度不健全，存在着大量的浪费现象，改革材料管理制度，杜绝浪费，对降低实验成本，提高实验效益，有着很重要的意义。一、实验材料管理制度的现状及其问题在...