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181.
182.
为了在浅沟槽隔离(STI)化学机械平坦化(CMP)过程中提高对SiO2介质层去除速率的同时保持晶圆表面一致性,研究了SiO2/CeO2混合磨料的协同作用以及对SiO2介质层去除速率及一致性的影响。结果显示,相比于单一磨料,采用混合磨料能够兼顾介质去除速率和一致性。采用质量分数10%SiO2(粒径为80 nm)与质量分数0.7%CeO2磨料混合抛光后,对介质层的去除速率达到347 nm/min,片内非均匀性(WIWNU)为9.38%。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察颗粒状态发现,晶圆表面吸附大量的SiO2颗粒会阻碍CeO2磨料与晶圆表面接触,从而降低对晶圆中心的去除速率,使化学作用更均匀。通过将小粒径SiO2磨料(40 nm)与CeO2磨料混合,使介质层去除速率进一步提升至374 nm/min, WIWNU降低到8.83%,用原子力显微镜(AFM)表征抛光后晶圆... 相似文献
183.
研究了天然有机吸附剂泥炭对Ag^ 的吸附特性,绘制了吸附速度曲线,并求出了Langmuir和Freundlich方程中有关参数,考察了温度、pH值对吸附的影响以及酸、碱和不同配合剂对Ag^ 的解吸附作用。结果表明:吸附具有以化学吸附为主的Langmuir单分了层吸附特征,0.1mol/L Na2S2O3溶液可定量地解吸Ag^ 。 相似文献
184.
185.
基于多元统计的数理方法——“聚类分析”为地下水化学分类的研究提供了合理、有效、快捷的手段。本文运用系统聚类法中最具代表性和典型性的最短距离法、重心法、类平均法以及离差平方和法这4种方法对重庆市八一隧道渗漏的19组水样进行了聚类分析,挖掘了数据间的内在联系,分析了水样间的相关关系,对比了各种方法的优缺点,探讨了不同方法的适用对象、应用条件和范围:经分析表明,最短距离法不适用于复杂的实际情况,重心法容易使聚类谱系图逆转,离差平方和法适用于样本数量较少的情况,而类平均法普遍适用。 相似文献
186.
187.
为了探究马铃薯超声解冻过程中的温度分布和解冻时间,本文采用有限元分析软件COMSOL对超声解冻马铃薯的过程进行非稳态模拟,并进行试验验证。结果表明:超声解冻模拟值和试验值的RMSE为0.393℃,对照组的RMSE为1.192℃,表明该模型能较好地模拟超声解冻过程;同时超声解冻能显著提高解冻速率,解冻时间比对照组减少30.9%。在此基础上预测了试验参数对解冻效果的影响:随着马铃薯半径、高度的增加,解冻时间依次增长;随着高度的增加,内部温差依次降低,而半径的变化与温差没有相关性;马铃薯在声场中的位置对解冻效果也有较大的影响,当马铃薯上表面距离探头65 mm时,解冻时间最短,内部温差最小,温度分布较均匀,此时解冻效果最好。需结合实际,优化出最合适的尺寸和位置以达到最好的解冻效果。 相似文献
188.
阐述了新型浆料瓜尔胶CG70的分子结构,测试了浆液、浆膜性能。试验结果表明:瓜尔胶CG70浆液粘度稳定,低温不凝冻,对纤维素纤维粘着力较大;其浆膜性能与变性淀粉不同。瓜尔胶CG70在生产应用中取代部分PVA上浆,取得了良好的效果。 相似文献
189.
抛光磨料在抛光衬底和抛光垫间做磨削运动,它是CMP工艺的重要组成部分,是决定抛光速率和平坦化能力的重要影响因素。因此分析磨料的各物性参数对CMP过程的影响尤为重要。随着晶圆表面加工尺寸的进一步精密化,磨料黏度作为抛光磨料重要物性参数之一,受到越来越多的重视。根据实验结果从微观角度研究了磨料黏度对CMP抛光速率的影响及机理,并由此得出当抛光液磨料黏度为1.5 mPa.s时,抛光速率可达到458 nm/min且抛光表面粗糙度为0.353 nm的良好表面状态。 相似文献
190.