一种有效去除CMP后表面吸附杂质的新方法

CMP后大量颗粒吸附在芯片表面,根据颗粒在芯片表面的吸附状态,确立优先吸附模型.利用特选的表面活性剂优先吸附在芯片表面可以有效控制杂质的吸附状态,使之处于易于清洗的物理吸附.实验表明,特选的非离子界面活性剂能够有效去除CMP后表面吸附的杂质,达到较好的清洗效果.     

北方干旱内陆河灌区节水农业综合技术模式研究与示范

根据21世纪北方干旱内陆河灌区农业高效用水的发展趋势,开展了北方干旱内陆河灌区节水农业综合技术集成与示范,探索该类型区农业高效用水技术及发展模式。通过组装、集成近几年来研究开发的适应于干旱内陆河灌区农业高效用水的新技术,提出流域水资源合理配置与优化调度方案、抗冻胀防渗渠道的结构设计、田间节水灌溉技术及相应的灌区管理技术,形成干旱内陆河灌区农业高效用水综合技术模式。     

全民健身视角下大众网球运动建设发展现状及对策研究

随着我国“全民健身”计划的不断推广，我国大众健身事业不断发展，网球运动作为早在欧美国家广受追捧的运动，近几年也在我国逐渐发展，以其时尚性、趣味性等吸引越来越多人群参与到网球运动中。本文主要运用文献调查法和逻辑分析法对全民健身视角下大众网球运动的发展现状进行研究分析，研究发现我国大众网球具有发展起步较晚、参与人口基数薄弱，参与人群在性别、年龄、职业等特征呈现不协调分布等发展现状。大众网球在我国全民健身背景下的发展也存在一定制约。本文对影响大众网球进一步发展的因素进行了总结，主要为大众网球运动基础设施缺乏、社会参与程度低、个人运动意识不足等几方面。并且提出了相应的解决对策，包括加大宣传力度、增加场地建设和提高大众网球运动氛围等几点措施，旨在继续推动全民健身背景下大众网球运动持续的发展。     

不同表面活性剂对浅沟槽隔离CMP中SiO2与Si3N4速率选择性的影响

针对浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)过程中SiO₂与Si₃N₄去除速率选择比难以实现的问题，研究了阳离子表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、阴离子表面活性剂直链烷基苯磺酸(LABSA)以及非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO7)对SiO₂与Si₃N₄去除速率以及速率选择比的影响。结果表明，CTAB对于SiO₂去除速率的抑制作用过强，导致速率选择比很低；与CTAB相比，LABSA对SiO₂去除速率的抑制作用减弱，但同时对Si₃N₄去除速率的抑制作用也变小，导致速率选择比无法满足工业生产的30∶1的要求；AEO7对SiO₂去除速率的影响较小，且对Si₃N₄去除速率的抑制作用强于LABSA。当引入质量分数为0.05%的AEO7时，SiO₂的去除速率由318.6 nm/...     

瓦斯抽采孔离心式机械造穴增透机制及装备研发

目前瓦斯抽采中比较成熟的机械造穴增透装置大部分需要以高压水（气）、连杆或者液压油缸等作为驱动刀臂开合的动力，在井下长钻孔中对动力设备要求较高。研制了一款利用钻杆旋转带动产生的离心力作为打开动力的离心式机械刀，通过调节钻杆转速来控制刀臂打开角度；根据初步试验及力学数值模拟分析，针对刀具整体结构、内部齿条、轴销、刀臂等薄弱部位材质进行优化。在山西某矿N1100回风巷进行了工业性试验，对比机械造穴和水力造穴施工时间及抽采纯量，验证了离心式机械刀结构设计的合理性和可靠性。结果表明：机械造穴试验孔达到了良好的造穴及抽采效果，该装备能够降低瓦斯抽采孔造穴增透对高压设备的依赖，单穴作业时间较水力造穴缩短近1/2，瓦斯抽采量提高了1.67倍。