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51.
压电微悬臂梁微弱压电信号检测   总被引:1,自引:2,他引:1  
压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器。文中讨论了压电微悬臂梁中的压电元件的两种等效电路模型,并且提出了检测微压电信号的检测系统以及两种前放电路。在检测微悬臂梁频率响应特性的实验中得到了较好的结果。  相似文献   
52.
本文叙述了我所研制的10mV超导约瑟夫逊电压标准测量系统,总不确定度为2.4×10~(-(?),随机不确定度小于1×10~(-8)。1988年4月,精确测定了我国SI单位的2e/h值为483597.88GHz/V,与国际平差值仅相差4×10~(-(?)。由于该系统具有很高的准确性和可靠性,1992年8月被国家技术监督局批准为国家临时电压自然基准并正式启用。  相似文献   
53.
离子束抛光硅片纳米级微观形貌的原子力显微镜研究   总被引:2,自引:1,他引:2  
本文报道了用原子力显微镜(AFM)研究多种Ar ̄+离子抛光参数Si(lll)表面的微观粗糙度和三维微观形貌特征,发现用离子束抛光方法可以显著地改善硅片表面的微观粗糙度,抛光效果与离子束能量、束流强度、抛光时间和束流入射角度等有关。用400eV离子能量、100mA束流强度、60°入射角离子束照射2小时后再改用350eV、80mA束流强度以同样入射角照射2小时的样品,在1μm×1μm范围表面微观粗糙度(RMS)值可达到0.3nm左右。而当小入射角(<20°)照射时抛光效果很差,其表面明显地呈现出直径约几十到几百nm凹坑的蜂巢状形貌特征。  相似文献   
54.
溅射法制备高取向Pt薄膜的工艺研究   总被引:5,自引:1,他引:5  
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于pZT铁电薄膜底电极的180nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。厚约50nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的黏着性。实验表明,在Pt薄膜的制备过程中,较高的衬底温度有利于薄膜晶化,促使Pt薄膜沿(111)晶向择优取向生长。而在薄膜沉积后加入适当的热处理工艺,能有效地提高Pt薄膜的择优取向性,同样可以得到沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。原子力显微镜分析表明,制得的薄膜结构相对致密,结晶状况良好,晶粒尺寸约为50nm。  相似文献   
55.
本文从研究斜齿圆柱齿轮传动的修形计算、动载分析、胶合强度计算等问题对轮齿受载变形的需要出发,提出了采用空间有限元法和解变形方程来求解轮齿载荷分布和变形量的计算方法。并以斜齿轮齿条传动为例进行了计算。在对计算结果进行分析的基础上,得出一些有益的结论。同时为了补偿轮齿受载变形,对必要的修形量进行了研究。最后用实验方法证实了所采用的计算模型及计算结果的正确性。  相似文献   
56.
介绍了MPEG-2译码器的一种设计方法,由于译码器的设计采用了软硬件相结合的方法,使其功能多样,应用灵活。  相似文献   
57.
江西景德镇电厂 SG220t/h 锅炉自投运以来,由于各种原因,过热器管爆漏现象时常发生。采取了相应的技术改进措施后,基本上消除了超温现象。本文对燃用劣质煤发电与过热器的安全运行,过热器长期超温运行及过热器管使用寿命问题进行了技术探讨,提出了今后在运行、检修中的注意事项。  相似文献   
58.
枯水径流若干问题研究进展   总被引:13,自引:5,他引:13  
着重对枯水径流频率分析、流量历时曲线、基流分割及退水分析等进行了阐述,分析了枯水径流特征与流域地形、地貌、水文地质特性和土地利用等空间信息之间的相关关系,并对无资料地区的枯水径流预测进行了探讨。  相似文献   
59.
阐述了电流控制型开关电源的基本原理,并将其与电压控制型开关电源进行了比较,指出了电流型控制的优点,并介绍了一种常用的电流型控制芯片(TOPswitch-Ⅱ)及基于该芯片的开关电源。  相似文献   
60.
介绍了一种用于同步发电机的新型励磁控制方法———PID 线性多变量反馈控制策略。该控制方法的思路是将PID的输出和线性多变量反馈励磁控制器的输出进行综合,从而设计出一种新型的同步发电机励磁控制器。仿真与实验结果均表明该励磁控制器在提高电力系统的稳定性以及稳定发电机输出电压方面有明显效果。  相似文献   
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