光刻胶段差对光刻图形的影响与改善

TFT光刻制程中,光刻胶段差使光胶在同一个光刻平面上,各区域的光刻程度不同,严重影响着光刻图形的质量。文章从光刻胶段差对光刻图形影响的原因进行分析,根据光强在投影光刻机光刻系统中焦点附近与光刻胶内部的变化特点,推导并计算出光刻胶段差区域内光强变化量为零时,光刻系统中光刻平面所应处于的位置,同时结合当前光刻系统焦平面的位置,计算出光刻平面的调整量,并以该调整量对当前光刻平面进行调整。结果表明:对于极限分辨率为2.41μm的投影光刻机,要使厚0.52μm的光刻胶段差内光强变化量为零,光刻平面调整量为9.434 42μm,且对光刻平面调整后10μm后,在DICD(Develop Inspection Critical Dimension)变化量较小的情况下,可显著改善沟道长为2.5μm的GOA(gate drive on array)区域的光刻胶残留。     

铝钢电磁脉冲焊接界面特性及金属粒子分布分析

为明确铝/钢电磁脉冲焊接过程金属粒子运动对界面连接性能的影响,基于金属粒子流形成机理,对界面形貌及抗剪强度进行分析.结果表明,金属粒子滞留界面造成铝局部熔化,钢粒子原位生成FeAl,形成未结合区;沿着焊接方向,分射流对铝板压入作用逐渐增大,形成冶金结合的界面,并伴有富铝金属间相,直缝区为FeAl+Fe₂Al₅,小波区为Fe₂Al₅+FeAl₃,大波区为FeAl+FeAl₃;铝钢焊接界面过渡区由塑变铝压入钢形成,铝侧焊缝的外边缘存在钢粒子,而钢侧焊缝存在熔融铝携带钢粒子,主要为FeAl+Fe₂Al₅+FeAl₃,且在焊缝内侧滞留了大量金属粒子,并以椭圆环的形式分布,在焊缝外侧,金属粒子滞落铝板表面造成凹坑,但在钢板表面为嵌入的片状铝;因此,在金属粒子滞留,并产生较多金属间化合物的位置成为剪切试验断裂源;通过波长公式调整搭接间隙,减少粒子滞留界面,椭圆焊缝断裂于铝材,提高了接头强度.     

振动冲击夯在我国的研制概况及其载荷状况的研究

振动冲击夯在我国的研制概况及其载荷状况的研究山西省交通科学研究所张玉虎山西省交通干部学校申明华太原钢铁公司钢铁学院李晓莉振动冲击夯是一种先进的小型夯实机械，目前世界上比较先进的国家已大量生产，它具有体积小、重量轻、夯实效果好、适用范围广、操作简便、安...     

振动冲击夯的力学模型及其解法的研究

振动冲击夯是一种小型夯实机械,具有体积小、重量轻、夯实效果好、适用范围广、机动灵活、操作方便、安全可靠等一系列优点。振动冲击夯的研制是一个具有较大难度的项目,据说原西德研制振动冲击夯用了10年时间,我国研制振动冲击夯,从60年代初至今已有30多年的历程。据介绍,我国振动冲击夯质量不过关主要表现在两方面:第一,工作弹簧质     

海河流域1961—2020年极端气候变化及其与大气环流关系

中国极端气候变化具有显著的区域性差异,有必要明晰区域尺度极端气候的时空变化特征及成因。基于海河流域41个气象站点1961—2020年的逐日气温、降水资料,计算并选取7个极端气温指数和4个极端降水指数,借助线性趋势法、Mann-Kendall突变检验和小波分析法等方法探究了海河流域的极端气候变化及其与大气环流的关系。结果表明：1961—2020年海河流域极端暖指数呈现显著上升趋势,TX90p、TN90p和SU25分别在流域东北部、南部和北部地区上升更明显;极端冷指数呈现显著下降趋势,TX10p在流域东部和西部地区下降趋势较大,TN10p和FD0在流域东南部和西北部地区下降趋势较大;海河流域极端降水指数总体呈非显著下降趋势,Rx1day、R95p、PRCPTOT和R10分别在流域西南部、中部、东南部和东部地区下降更多;大气环流会对海河流域的极端气候指数产生影响,其中影响较大的因子是北极涛动;北极涛动与海河流域的极端暖指数普遍呈现正向关系,与极端冷指数和极端降水指数则呈现负向关系,且北极涛动与海河流域的极端气候指数存在多个共振周期。     

基于阵元方向图的相控阵雷达辐射源识别技术

为了实现对相控阵雷达辐射源的个体识别,分析了相控阵雷达天线的方向图形成方式,提出一种基于阵元天线方向图的相控阵雷达辐射源识别技术。通过双站侦察数据得到相控阵雷达天线阵面的指向角,进而算得相控阵雷达的阵列因子函数,经过比对接收的雷达天线方向图和阵列因子函数,得到组成阵列的天线阵元方向图,最终将计算得到的天线方向图与数据库中的天线方向图进行匹配,完成对相控阵雷达辐射源的个体识别。该方法通过提取相控阵雷达天线方向图的不变个体特征,实现了对相控阵雷达辐射源的个体识别。仿真实验结果表明所提方法能够有效地对相控阵雷达辐射源进行识别。     

基于FRFT的雷达辐射源信号特征分析及提取

针对用于分选的雷达辐射源信号参数空间严重交错的问题,提出了基于分数阶傅里叶变换(FRFT)的雷达辐射源信号特征分析与提取方法。该方法提出特征定义——信号聚散度,同时将相像系数引入信号特征的提取中。通过计算不同阶FRFT中的聚散度和相像系数得到相应的变化曲线,提取曲线峰值对应的阶数值和峰度,并进一步提取信号做k次方谱的相像系数,以此构造新的分选特征向量。通过仿真实验验证了新特征向量具有更好的可分性。     

机组振动原因分析处理

大同第一热电厂8号汽轮机由于设备老化,滑销系统卡涩,汽缸膨胀不畅等原因,使汽缸内部间隙不均匀变化,导致动静摩擦,引起不稳定强烈振动。通过严格的轴瓦检查和中心调整,消除了汽轮机转子及轴系不平衡,使机组达到良好的振动水平。     

国家军委副主席郭伯雄视察海南文昌卫星发射中心工程

正本刊讯1月13日,中华人民共和国中央军事委员会副主席郭伯雄同志在总装备部副部长牛红光、海南省委省政府有关领导的陪同下亲临由中建安装工程有限公司(简称中建安装)承建的海南文昌078工程501#建筑物施工现场检查指导工作。     

中建安装参加南京南站“百日大会战”劳动竞赛启动仪式

本刊讯7月3日,中建股份南京南站百日大会战劳动竞赛启动仪式在南京南站工地隆重举行。建设指挥部、监理、中建总公司及八局的有关领导出席了启动仪式。中建安装董事长罗能镇、总经理相咸高、党委书记季景江等领导参加了启动仪式。