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11.
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术. 该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27nm CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造.  相似文献   
12.
在正统理论的基础上,使用主方程法建立了金属结单电子晶体管的器件模型和算法流程.将电容、电阻和温度等参数代入器件模型得到的I-Ⅴ特性曲线与实验结果吻合较好,从而验证了模型、算法以及程序流程的正确性.此外,通过详细讨论模拟与实验的三组曲线差别,得到模型使用主方程的稳态解是导致模拟与实验之间结果存在差别的主要原因,即求解含有时间的主方程将增加模拟精度;而且,指出镜像电荷引起的电势使电流随电压呈现指数增加的主要影响因素,明显偏离理论模拟的线性增加趋势.  相似文献   
13.
简述了对机电一体化技术的发展历程,展望了机关电一体化技术的发展前景。  相似文献   
14.
随着我国科学技术水平的提高,对于核领域的发展发挥了极大的推动作用,作为解决当前能源危机的重要途径,受到了国家和社会的重视。在核化工与核燃料工程专业中,重点是为国家培养优秀的核领域人才,促进我国核技术的进步和开发。因此必须重视师资力量的投入和教学方式的研究与改革。对核化工与核燃料工程专业建设进行探索,以提高教学质量与水平,为我国核能源发展提供人才保障。  相似文献   
15.
雨水口是城市道路上收集雨水的排水设施,在进行城市道路及排水工程设计时,需要考虑如何在道路上合理设置雨水口,本文从多方面对城市道路雨水口的设置问题进行了分析。  相似文献   
16.
虚拟电厂(Virtual Power Plant, VPP)能够聚合发电侧的分布式能源以提高可再生能源消纳程度。由于可再生能源出力的不确定且成本缺乏竞争力,虚拟电厂在运营过程中往往存在弃风弃光现象。建立了一种碳交易机制下计及用电行为的虚拟电厂经济调度模型,使可再生能源能参与到碳交易中,并促进用户侧与发电侧的协同。针对该模型的双层性、非线性和半连续性,提出了一种综合线性逼近、KKT条件和透视变换理论的重构方法,将其转化为单层整数二阶锥模型实现求解。算例表明,促进可再生能源消纳有助于提高虚拟电厂的减排效益。同时,碳交易机制具有提高可再生能源消纳总量的能力,用户的响应则具有改善风能利用分布的能力,而采用合适的电价机制能够进一步发挥二者之间的协同效益。  相似文献   
17.
针对目前电梯故障多发问题,采用STM32单片机和LabVIEW软件,构建了电梯安全监控系统,保障电梯安全运行。系统采用STM32单片机作为控制单元,LabVIEW设计的监控平台作为主监控单元。采用TCP/IP协议以及Modbus串口协议实现设备间的数据通信,控制层中的控制器将设备层中的各类传感器采集到的电梯运行时产生的参数进行上传、分析并存储。系统经测试,结果显示:上位机的监控平台能够与STM32单片机能进行数据交换,同时也能够实现对电梯运行状态的监控。  相似文献   
18.
作为油田生产建设的黍要一环,物资部门的管理水平不仅直接影响着油区产能建设的整体质垦,而且关系到油田的经济效益.当前在低成本发展道路上,物资部门的精细化管理必将最大限度地为整个油田节支降牦、挖潜增效,提高效益起到推动和促进作用.  相似文献   
19.
本论文针对AOD炉精炼的特点和AOD炉耐火材料的特点,阐述了提高AOD炉炉衬寿命,降低生产成本的方法。结合多年在实际生产工作中的经验,通过耐火材料特性、冶炼造渣、冶炼温度、配气等各方面提出了控制措施。  相似文献   
20.
详细介绍了机载加卸载设备电磁兼容设计,对加卸载设备的电磁环境特点进行了分析,提出了电磁兼容设计中新思路,消除了加卸载设备中可能出现的各种电磁干扰和泄漏,从而使各项指标满足总体以及国军标GJB1143和GJB151A对电磁兼容性的要求.同时将问题的解决落实到在设计与开发过程,为其他机载设备的电磁兼容设计提供了参考.  相似文献   
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