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该文对利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底(PSS)的工艺控制进行了研究。在工艺制作过程中,选用了C轴(0001)取向的100 mm蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工艺和ICP刻蚀工艺控制,制作出了具有圆锥状图形结构的图形化蓝宝石基底。借助扫描电子显微镜,对该图形化蓝宝石基底进行了测量和分析。测量结果显示,基底表面上的单粒圆锥状图形结构的底部直径为(3.45±0.25) μm,刻蚀高度/深度为(1.75±0.25) μm,整个图形化蓝宝石基底成品片的均匀性控制在3%以内。 相似文献
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基于SURPAC的露天矿三维采掘进度计划编制系统 总被引:2,自引:0,他引:2
采掘进度计划对矿山建设和均衡生产具有指导作用。编制采掘进度计划的目的是进一步落实矿山生产能力,并确定均衡的生产剥采比和矿岩生产能力,以保证生产者对生产过程中矿石数量、矿石质量、开采技术、经济效益、生产效率、作业安全、矿产资源合理利用等的总体要求。主要论述基于SURPAC软件如何实现三维采掘进度计划编制系统的开发。 相似文献
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本文全面总结了“十三五”安徽省非金属矿产资源勘查和开发利用情况,分析总结了第三轮矿产资源规划实施成效和存在问题。探讨了“十四五”安徽省经济社会发展对非金属矿业的形势要求和需求分析,提出了“十四五”非金属矿产调查评价方向、重点勘查区、矿权出让和综合利用等方面建议。 相似文献
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一种实现高带外抑制声表面波滤波器结构 总被引:2,自引:2,他引:0
为了获得高的带外抑制,我们设计了一种单相单向换能器与镜像阻抗连结换能器结合的滤波器结构。该结构由双通道组成,每通道上由一个电级宽度控制单相单向端变迹加权换能器和一个抽指加权换能器组成,它具有带外抑制高、插损小、体积小和制作容易等优点,克服了常规滤波器级联带来的插损大,难匹配的问题。最后给出了我们制作在127.86°Y-XLiNbO_3基片上的高带外抑制声表面波滤波器结果,其中心频率为70MHz,带宽为1.5MHz,带外抑制大于70dB,插损小于13dB,芯片尺寸小于5mm×10mm。 相似文献