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电容式MEMS开关中弹性膜应力对驱动电压的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
详细分析了多种参数对 MEMS电容式开关驱动电压的影响 ,包括材料选取和工艺参数变化 ,并对驱动电压理论值进行计算。利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关 ,测试结果表明采用 Al0 .96 Si0 .0 4弹性膜和厚胶牺牲层工艺能获得适中的剩余应力释放 ,微桥应力约为 10 6 N/m2 ,这为获得较低的开关驱动电压提供了可能。对长 1m m的 MEMS开关 ,当弹性膜厚为 0 .5μm,桥高为 3μm、桥宽为 30 μm、桥长为 2 50 μm时获得了 2 5V的驱动电压 ,S参数测试表明该电容式开关 1~ 4 0 GHz频段内的插入损耗低于 1d B。 相似文献
112.
本文对非线性平板光波导TM模传播特性进行了研究;采用图解法解了光波导的色散方程;最后讨论了引起光波导传播特性变化的物理机制。 相似文献
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114.
在最近与两这矿山公司签署收购协议之后,世界最大的钢铁生产商安赛乐米塔尔公司将对巴西铁矿和加拿大港口建设进行大规模投资,投资额预计将超过10亿美元。在经过长达4个月的谈判后,安赛乐米塔尔公司同意以7.64亿美元的价格,从伦敦矿业公司手中收购伦敦矿业巴西公司100%的股份。安赛乐米塔尔还将向伦敦矿业公司提供约4600万美元的贷款。 相似文献
115.
高校实验室是进行教学、科研、培养创新人才的重要场所,对于学生动手能力和创新意识的培养具有重大意义.结合自身的长期实践,分析总结高校大型实验仪器设备的管理体制不够完善,开放共享程度不高,运行水平不够高导致整体利用率低下等问题,为使大型实验仪器设备在有效期内的使用率得到最大化程度的提升,本文从高校实验室大型仪器设备的科学有效管理方式、优化资源、建立共享平台等多方面对提高设备利用率提出建议和措施. 相似文献
116.
117.
采用太阳能驱动电解水制氢是实现将太阳能转换为氢能来存储的最佳方式。该文提出一种采用光伏、光热协同驱动固体氧化物电解池(SOEC)进行高温蒸汽电解的制氢系统。建立各子系统数学模型,选取北京地区夏至日气象参数,分析太阳辐照度对制氢系统的性能影响,最后对整个系统进行能量及火用分析。结果表明,电流密度和温度是影响SOEC工作的重要因素。在电流密度较大的情况下升高温度,将有利于提高电解效率。耦合太阳能后系统最大能量及火用效率分别达到19.1%和20.3%。火用分析结果表明系统最大有用功损失发生在光电转换过程,火用损比例为87%。提升光电效率,将成为提高太阳能-氢能转换效率的关键。 相似文献
118.
微信,是腾讯公司在2011年年初推出的一款可以免费发送语音信息的手机应用软件。在两年的时间里,微信的用户逐渐增加,据可靠数据显示,目前微信的用户数量已经超越了新浪微博的用户数量,新增公共账号功能的开通使越来越多的企业主动把微信营销纳入网络营销计划内。微信,成为企业在后微博时代的营销新方式。微信有2亿用户,而且都是使用智能手机,时尚、高端,含金量相当高。那么餐饮类企业应如何利用微 相似文献
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120.
混沌与分叉科学揭示了客观世界中极其丰富的非线性现象,这些非线性现象在电力电子电路中都有其产生的途径和表现形式。本文基于为开关变换器可靠性设计提供理论指导的目的,针对实际变换器的负载特点,研究了Boost变换器负载寄生电感对系统稳定性的影响。首先基于系统的状态方程,建立了感性负载Boost变换器的Matlab/Simulink数值仿真模型,并仿真得到不同滤波电感参数下的分叉图;然后通过构造离散迭代映射,计算雅克比矩阵在平衡点处的特征值,对感性负载Boost变换器的稳定性进行了理论分析。理论分析与数值仿真结果一致,均表明Boost变换器负载寄生电感对系统的稳定性有重要的影响,即负载寄生电感的变化可导致系统发生分叉行为。 相似文献