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高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器 总被引:1,自引:0,他引:1
级联式MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化,来改变传输线的特性阻抗和相速,达到相移的目的.文中讨论了MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜,获得了较低的下拉电压.测试结果表明,相移器的下拉电压不大于40V,且当控制电压大于10V时,即有明显的相移.该MEMS相移器制备于电阻率大于4000Ω*cm的高阻硅衬底上,获得了较好的传输特性,在整个测试频段1~40GHz,S21均小于3dB,并在25V时获得了大于25°的相移量. 相似文献
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地球物理勘探方法应用于隧道掘进中的超前预报工作,不仅具有快捷、准确的特点,而且还能进行实时处理与显示。以湖南境内常(德)吉(首)高速公路29合同段小陂流隧道的超前预报为例,通过TSP203探测,可以及时、详细、准确地了解开挖掌子面前方的地质情况,从而为施工单位合理安排施工作业进度、减少工程隐患提供科学依据。 相似文献
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通过介绍锡矿山超大型锑矿床的成矿地质背景、矿床地质、地球化学特征以及矿田及其外围的地球物理特征,提出了关于锡矿山锑矿床成因分类和成矿模式的新认识 相似文献
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采用太阳能驱动电解水制氢是实现将太阳能转换为氢能来存储的最佳方式。该文提出一种采用光伏、光热协同驱动固体氧化物电解池(SOEC)进行高温蒸汽电解的制氢系统。建立各子系统数学模型,选取北京地区夏至日气象参数,分析太阳辐照度对制氢系统的性能影响,最后对整个系统进行能量及火用分析。结果表明,电流密度和温度是影响SOEC工作的重要因素。在电流密度较大的情况下升高温度,将有利于提高电解效率。耦合太阳能后系统最大能量及火用效率分别达到19.1%和20.3%。火用分析结果表明系统最大有用功损失发生在光电转换过程,火用损比例为87%。提升光电效率,将成为提高太阳能-氢能转换效率的关键。 相似文献
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