多晶硅衬底上的RF MEMS开关

在微机械开关与硅IC工艺设计和兼容方面进行了改进,获得了一种可与IC工艺兼容的RFMEMS微机械开关.采用介质隔离工艺技术把这种RFMEMS微机械开关制作在绝缘的多晶硅衬底上,实现了与IC工艺兼容;采用在金属膜桥的端点附近刻蚀一些孔的优化方法,降低了RFMEMS微机械开关的下拉电压.用TE2 819电容测试设备测试开关的电容,测得开关的开态电容、关态电容和致动电压分别为0 32 pF、6 pF和2 5V .用HP875 3C网络分析仪对RFMEMS微机械开关进行了RF特性测试,得出RFMEMS微机械开关在频率1 5GHz下关态的隔离度为35dB ,开态的插入损耗为2dB ,用示波器测得该开关的开关     

任意取向多个介质旋转椭球的散射场

本文提出了一种用于计算任意取向多个介质椭球电磁散射的混合方法.利用扩展边界条件(EBC)导出具有旋转轴对称单个椭球以球面波矢量函数为基底的T矩阵,结合球矢量波函数旋转定理和递推T矩阵方法,给出多个任意取向介质椭球的散射场.数值例子验证了该混合方法的计算精度和有效性.     

泵入／回流测试有效降低水平地层应力的评估

本列举了在挪威近海不同井位进行的泵入／回流测试的现场数据，解释了致密地层中标准扩展滤失测试(XLOTs)在2000m相应的0．1s．g处至少过高估计了最小水平地层应力20bar的原因。泵入／回流测试是一个XLOT的简单改进。在关井以后，压裂液允许通过一个固定油咀回流。压力和回流量被记录为一个时间函数。我们把一些泵入／回流测试的结果与XLOTs所使用的常规泵入／回流测试的结果进行了比较。由于现有的测试是在致密地层内进行的，因此实际裂缝闭合压力显示出比从标准的XLOT传统解释推断的测试结果最多低于20bar。业已证明，在大多数的情况下，泵入／回流测试是直接的解释，因而它也应该是用于测量最小水平地层应力的最优方法。     

马朗凹陷油气成藏流体动力系统分析

应用油气成藏流体动力系统分析的思路，通过研究三塘湖盆地马朗凹陷地层格架内流体动力学、化学特征、地温分布特征以及它们之间的相互关系规律，同时对凹陷区域流体动力系统沉积和构造演化过程进行了分析，马朗凹陷在纵向上可划分为侏罗系侧向弱开放性和二叠系垂向开放-弱开放性二个油气成藏流体动力系统，并按各个系统的类型分析了它们的成藏条件，为马朗凹陷的进一步勘探提出了重点关注的区域。     

氮分压对CrNx薄膜相结构与力学性能的影响

ＣｒＮｘ 薄膜具有很高的硬度和耐磨性 ,其高温抗氧化性和耐腐蚀性优良 ,不但可作为耐磨涂层用于工模具和切削工具的表面强化 ,而且在表面防腐和装饰等许多工业领域也有重要用途[1] 。同已经得到广泛工业应用的ＴｉＮ薄膜相比 ,ＣｒＮｘ 薄膜的硬度更高 ,而且具有比ＴｉＮ更好的耐腐蚀性能[2 ] 。ＣｒＮｘ 薄膜溅射产额比较高 ,有利于大批量的工业生产 ,更具有实用价值[3 ] 。ＣｒＮｘ 薄膜采用ＳＰＣ 35 0多功能磁控溅射仪制备。在射频阴极 (ｒ .ｆ.)上安装纯Ｃｒ靶 (99 99% )作为溅射材料 ,高速钢基片经 1μｍ金刚石研磨膏抛光后 ,用丙酮…     

真空微电子荧光平板显示器件的实验研究

真空微电子荧光平板显示器件的实验研究刘杰明，李志能，陈秀峰（浙江大学信息与电子工程学系）关键词：真空微电子，反应离子刻蚀一、引言近十年来，随着真空微电子学的崛起，利用微细加工技术，使真空元器件集成化和高性能化已成为可能，一种新型场致发射阵列真空荧光平...     

一种求解复杂系统传递函数的方法

根据有关文献，详细介绍了一种求解复杂控制系统传递函数的新方法－“环路法”，并通过一个实例进行验证，结果表明，本方法公式简便，灵活，易掌握，且计算简捷，求解准确性高、速度快。     

模拟数字信道中产生符合Poisson分布误码的方法

按照Poisson分布的一般特性,对信道中的产生满足该分布的误码数学模型进行了分析,着重在该基础上提出了几种实用的模拟这种误码产生的方法,并对其加以比较。     

提高钴冶炼回收率的生产实践

本文简述了从低品位钴渣中回收钴的生产实践,找出了影响钴回收率的主要因素.重点介绍了所采取的相应措施。使钴冶炼回收率达到80%以上。同时还提出了正待改进的方面。以进一步提高钴冶炼回收率。