氧等离子气氛中NMOS器件的性能退化

文章描述了氧等离子干法剥离光刻胶中MOS器件的性能退化问题,并且制备了不同天线比AR(Antenna Ratio),相同器件结构的NMOS器件来检测器件的退化.实验结果发现栅漏电流密度Jg和阈值电压Vt漂移会随着Al的天线面积的增加而非线性地增加,尤其表现在阈值电压漂移上.运用增加电流应力时间的测试来模拟器件在等离子反应腔中所受的实际应力,发现了与天线比增加时阈值电压变化趋势相同,表明在氧等离子气氛中器件受到了负电应力的影响.最后,基于此次实验的结果,在器件的设计,工艺参数的制定方面提出了一些减小干法剥离光刻胶工艺带来器件性能退化的建议.     

网际组态软件Advantech WebAccesss报表设计及应用

应用网际组态软件Advantech WebAccesss可快速完成值班报表、日报表、月报表的组态.以冶金过程控制仿真系统为例,完成其温度过程控制的报表组态,报表也可通过Email自动发送给用户.     

基于能量的倒立摆系统摆起控制的研究

倒立摆系统作为控制理论研究中的一种较为理想的实验手段,是检验控制策略效果的不可或缺的_Y-具,也是控制界中研究的热点。本文对各种控制方法在倒立摆的摆起控制设计中的应用以及摆起控制与稳摆控制的切换做了分析,并对倒立摆系统的研究前景做了展望。     

飞秒激光脉冲推进小球的实验研究

利用飞秒激光脉冲分别在水平和竖直方向上进行了推进微型小球的实验.实验中首次利用毫焦量级的飞秒激光脉冲(重复频率1 kHz)推进质量在毫克量级的小球,将直径0.7 mm的铁球水平推进了65 mm,直径接近1 mm的聚苯乙烯小球竖直推进了72 mm.实验研究发现:无论是在水平还是在竖直方向上的推进,小球离开飞秒激光聚焦区域之前与小球发生作用的脉冲个数是决定推进效果的决定性因素.通过增大脉宽、换用较长焦距的聚焦透镜增加与小球作用的脉冲个数,可以将小球推进到更远的距离或更高的高度.     

PECVD淀积介质层对MOSFET性能的影响

通过对nMOS器件随天线比增加的阈值电压漂移、跨导变化,MOS电容在TDDB测试后的QBD退化分析来评估在RIE（Reactive Ion Etching）金属前PECVD-TEOS预淀积保护介质层的保护作用,实验结果表明此介质层没有起到足够的保护作用,反而会由于更长的等离子体工艺时间产生更严重的损伤问题。传统的电荷在硅片表面积累理论不足以解释此现象,本文从高能电子隧穿作用来分析此性能退化的原因。     

多波长可调谐Ti：Al_2O_3飞秒激光器的研究

研制出一种多波长可调谐自锁模Ｔｉ：Ａｌ２Ｏ３激光器．能够同步产生二个或三个波长的飞秒脉冲序列．最短脉冲为４８ｆｓ，平均功率为７０ｍＷ．脉冲中心波长间距在２６～４９ｎｍ范围内可变。激光器波长调谐范围为７５０～８３０ｎｍ。     

钛宝石再生放大器

钛宝石再生放大器最近我们利用中国科学院上海光机所生长的钛宝石激光晶体，研制成功了钛宝石激光再生放大器。放大器输出光脉冲能量为３．６ｍＪ，工作中心波长为８００ｕｒｎ，重复频率为每秒１０次。再生放大器的腔为平凹腔。凹面镜曲率半径Ｒ－４ｍ。腔长正．７６ｍ。...     

防空导弹武器系统战伤等级评判函数研究

根据防空导弹武器系统的特点，在结合研究其它参考文献中关于其它武器装备战伤等级评判模型的基础上，提出了一种结合防空导弹武器系统综合损伤的等级评判数学模型，可作为防空导弹抢修性设计的理论参考，也可作为其它武器装备系统战伤等级评估的参考．     

空间拦截弹道优化研究

为验证利用地基导弹进行空间拦截的可行性,对空间拦截弹道优化问题进行了描述.根据固体火箭弹道设计方法,分析了弹道的影响因素,提出基于正交设计的搜索算法,给出了详细的算法流程,介绍了搜索方向的正交设计方式和搜索过程.用该模型对某一参考弹进行了仿真计算,计算结果表明,只要弹道参数设计合适,参考弹完全可以将100 kg有效载荷送入近地轨道,满足空间拦截作战要求.     

现代战争条件下空防对抗的Lanchester方程描述

通过对多元Lanchester方程作战理论和C4ISRK系统的研究，提出了将C4ISRK系统能力指数作为损耗系数建立空防对抗模型的方法．应用所建立的模型对空防对抗条件下的系数效能进行研究，可以对战役优势评估、进程预测、配置优化等活动提供决策支持．