用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

用x-t域预测反褶积法压制长周期多次波

用常规反褶积压制周期长于100毫秒的多次波时,有两种系统误差。一种误差是时窗效应,它是由根据数据的有限部分计算实际自相关函数而引起的。另一种误差是周期性假设所引起的,这种假设只有在一维介质、零偏条件下才能成立。误差的幅度随多次波周期长度的增加而增加。本文描述并证实了一种能克服常规一维法中两种系统误差的预测反褶积方程的精确二维解。该法可用于简单波场系统或捕波系统以及复杂或微屈多次波中。该方法并不要求将时窗设计成算子大小的6～10倍,在较大的传播角内均很精确。从经典预测意义上看,该法所用的公式是严密的。     

新日铁大分厂1号高炉的三代炉役

新日铁大分厂１号高炉的三代炉役［日］ＳｈｉｒｏＭｏｃｈｉｚｕｋｉ等大分厂１号高炉１９７２年开炉时的总容积为４１５８ｍ３，炉缸直径为１４ｍ。该炉是通过冷却板冷却的。炉顶最大压力为２５Ｎ／ｃｍ２。高炉采用料钟布料装置，设有四座外燃室热风炉，并带两个文氏—...     

东亚和东南亚发展中国家乳品消费,生产和贸易趋势

概括地叙述了东亚和东南亚国家乳制品消费、生产和贸易的发展情况。作者认为经济的发展，与世界其它地区饮食习惯同化两者共同刺激了本地生产和进口，从而使这些国家的乳和 消费出现了增长。     

流体自多孔管壁注入的水平井筒流动

本文对液流自多孔管壁注入的水平井筒流动进行了研究。该井筒可自由藏得到连续的流量注入。由于井筒和油藏间存在复杂的相互作用。该问题一直被认为是生产实践中未被解决然而却非常重要的问题。     

展成共轭齿形的计算机近似算法

本文提出一种方法,用来综合与任选齿形相共轭的轮齿几何形状。采用立方样条函数对定义任选齿形的数据进行插值。这种方程式对于编制程序组或人机对话型式的程序都比较简单。文中给出了人机对话图形显示程序的计算结果来说明这个过程。     

改进相干激光器阵列的热沉设计

一种有顶层(其横向尺寸与激光器阵列宽度相配)的热沉将明显改善激光器阵列的温度均匀性,便于器件锁相工作。     

燃煤电站锅炉排烟中潜热的回收

提高燃烧效率和(或者)从排烟中回收余热都能够改善锅炉效率。目前的研究是确定同时回收潜热和显热时热和烟的收益比率。通过在一个350MW热电站中的一台交叉流管状换热器传热和传质的数学模拟,获得了理论结果。这一结果表明,在烟气温度为150℃时,由于从排烟中回收潜热,锅炉效率可以提高5—6％。对换热器表面的最大腐蚀率做了予测。     

用于军事和工业系统的声表面波器件

自从制成了叉指换能器以来,声表面波器件获得了很大的进展.目前,这种器件已经广泛地用于完成复杂系统的信号处理功能方面.     

STE—2反场箍缩极向偏滤器实验的首批结果

已在有一个外偏滤器室的放电容器中产生了有单极向零的反场箍缩。在目前的实验中没有装上导电壳。极向偏滤器位形维持的时间为壁的时间常数，在磁起伏中ｍ＝１撕裂模的优势不受偏滤器位形的影响。采用偏滤器位形和在偏滤器电流达到主等离子体电流的３０％的情况下，极向偏滤器都没有引起对等离子体性能的有害效应。