FeCl_3溶液中影响Cu蚀刻速度的因素

采用喷蚀的方法,研究了Ｃｕ在２．５ｍｏｌ／ＬＦｅＣｌ３溶液中影响蚀刻速度的几个因素。用ＸＲＤ方法分析了Ｃｕ蚀刻表面的成分,证实了蚀刻过程中ＣｕＣｌ钝化膜的形成;研究了蚀刻速度随蚀刻时间的变化规律,给出了初步的解释;同时研究了蚀刻液中不同氯化物添加剂对蚀刻速度的影响,结果表明阴离子不是影响蚀刻速度的唯一因素,不能排除阳离子的影响;同时对蚀刻液的溶铜能力及失效蚀刻液的再生进行了初步的研究。     

混合集成电路铜功率外壳气密性失效分析

玻璃封接金属管壳是集成电路封装中的1类主要组件，该管壳是将玻璃与可伐合金封接而成的绝缘子钎装在铜管座上制成的。本文研究了PM型混合电路铜功率外壳气密性失效问题，产品高温老化后，气密性可由10^-8Pam^3／s降到10^-5Pam^3／s。结合对失效产品的解剖，以及与国外不漏气的同类型功率管的对比分析，分析了影响玻璃封接金属管壳气密性的因素以及生产工艺对封接质量的影响，提出若干改进建议，并指出提高产品质量的有效途径。     

面向并行工程的工作流集成框架研究

随着并行工程的研究与推广，目前日益成熟的工作流管理技术为建立支持并行工程的应用集成系统提供了良好的基础，使得设计和开发能够支持应用程序之间的信息集成与过程集成软件系统成为可能，针对产品开发全生命周期管理的需求，首先提出了一个基于工作流的企业信息系统体系结构，基于该思想，进一步提出了并行工程使能工具的集成框架，为了阐述其集成方法，在介绍集成框架的核心技术－工作流建模与管理系统的基础上，以PDM系统的集成为例，详细解决了Tool Agent集成方式。     

循环域解调方法在滚动轴承故障诊断中的应用

讨论循环平稳信号的循环自相关函数特性，指出循环自相关函数不为零的循环频率对应着信号的周期成分。基于调幅和调频信号模型推导出循环域解调方法，通过扫描循环频率域使调制源(故障)信息解调在循环域的低频段和高频段。利用高频段无调制源交叉项的特点，对滚动轴承故障进行诊断，有效地提取出外圈、内圈和滚动体的故障特征。     

两阶段供需链企业间的博弈分析

供需链是由物流、信息流和资金流联接起来的多个实体构成的供需网络。由于链上的各个实体具有独立的决策权，所以由此引发的信息结构的非对称和决策激励的不一致问题，是导致该分布式系统低效的最主要的原因。本文以一个两阶段的供需链系统为背景，分别论述了在供应商和零售商起主导作用下的两类Stackelberg博弈，给出了博弈的Nash均衡解，并分析了这两种情况下供应商的批发价和零售商的订货量与零售价的变化，然后结合集中式控制系统，分析了分布式系统低效的原因，最后给出了实例，并验证了结果。     

基于视觉的高速高精度贴片机系统的程序实现

针对全自动贴片机的高速、高精度检测与控制问题，借鉴目前国外先进贴片技术和实际生产工艺，系统地分析了贴片机的运动控制、视觉识别、PCB数据三大主要部分的特点和功能，并根据自行开发的视觉识别、运动优化和控制算法，进行了全部软件系统的设计和集成，重点介绍了有关的程序实现技术。     

基于本体的可重构知识管理平台

基于知识管理的共性与差异，提出一种基于本体、知识处理模板与基于实例推理方法的可重构知识管理系统框架。在该框架中，知识被视为本体概念的对象实例，通过本体配置，可建立新的知识类别，克服了以往知识类型不能扩充的问题；通过本体、知识处理模板以及内嵌机制，系统自动生成用户界面，并可对不同类别进行区别或缺省处理。简要讨论了基于工作流程的协作知识生产方法。     

敏捷企业（下）

上半部分全面介绍了敏捷企业的有关概念和企业开展敏捷化工程的有关问题。从企业外部到企业内部，对影响企业敏捷性的因素做了比较详细的分析。给出了一个供美国工业界实施敏捷化工物关键因素优优表，并对中国企业如何利用目前的机遇，通过建立全国一致的商务交换标准和技术体系来国际大合作的问题提出了具体的建议。下半部分从国工程的概念出发，着重描述了ＲＲＳ的概念，并通过实例进一步阐述了ＲＲＳ的１０条设计准则。     

动态联盟和敏捷供应链

动态联盟的建立是为了响应竞争环境的快速变化或一个新的市场机遇。它是一个结盟企业的利益共同体,是实现全球化敏捷生产的主要方式。敏捷供应链是支持动态联盟优化运行的重要使能技术。本文将主要针对在中国企业开展动态联盟的要求,困难和特点进行初步的分析,并重点围绕供应链的敏捷性,这一支持动态联盟优化运行的关键技术,进行深入的讨论,提出了一个基于智能代理和可重构原理的解决方案。     

三自由度并联机构坐标测量机误差建模与仿真

给出了三自由度并联机构坐标测量的运动反解模型,依据矩阵全微分理论,导出测头位姿态差与各运动副位置误差及调节器运动误差之间的相互关系,建立了新型坐标测量机的误差模型。通过计算机仿真,讨论了机构参数误差对测量结果的影响,为实际误差的补偿写控制奠定了理论基础。