用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

关于香港电讯业的问答

本文采用问答的形式，介绍了香港电讯业开放市场，引入竞争的过程，在对电讯市场实行自由化政策进行了评论，并提出向外扩展，引入新的竞争者和加强与内地合作等建议。     

为提高编制工艺规划的柔性跨出一步─—借助基于知识的方法,编制跨零件类别的工艺规划

开发一种模块式的跨零件类别的工艺规划模型是一项课题的目的，它包括各种不同的方法。自1991年5月起，德意志研究联合会开始资助该课题，课题实施单位是斯图加特的弗朗霍夫生产技术与自动化研究所（IPA）和Chemnitz－Zwickau工业大学的制造与生产信息科学研究所（IFP）。具体描述了如何能利用相融合的传统算法和基于知识的方法兼村回转体和棱柱体工件编制工艺规划。     

季风气候区极端水文事件分析——中国洪汝河

１９７５年８月，一场特大暴雨袭击了中国河南省洪汝河流域，导致流域内两座水库大坝漫顶冲毁，整个流域经受了一场严重的洪水灾害，由于大坝冲毁，改变了流域的水文特性，所以要用多种方法研究洪以量的重现期，年极序列法（ＡＭＳ）局部历时离列法（ＰＤＳ）和地区综合分析法，三种不同的分析方法对１９７５年水文事件的洪充量给出不同的重要现期，这就发生一个以概率为基础的方法是否适用于特大水文事件计算的疑问，本次分析计算，     

矿石贫化对地下矿山生产成本的影响

加拿大地下金属矿山的全部矿石产量中大约有51％是用空场采矿法开采的。这种采矿法要求在以可接受的最小贫化程度采出矿石之前，采场是空敞的。1988年对地下矿山的一项调查表明：这些矿山关闭的一个重要因素是贫化失控。据报道，有40％的空场采矿作业的矿石贫化超过20％，这样高的贫化程度对矿山的经济生存有深刻的影响，尤其当一个矿山企业的收益率一般要在10％～20％之间时，贫化问题更为敏感。本文对贫化的定义、现行的减少贫化的矿房设计方法、以及现时可用的贫化测定技术做了报道。     

工业还原NS—掺杂蓝钨过程中掺杂剂相的形成和结合

本文叙述了用于生产具有不下垂性能的细钨丝的ＮＳ－掺杂蓝钨工业还原过程中掺杂剂相的形成和结合。在还原过程中结合适量的掺杂剂是钾残留在烧结锭中的基本保证，钾能在丝材制造中形成钾泡串，使在随后的的灯丝工作时形成大晶联锁微结构，而这是不下垂特性的关键所在。本文的第一部分讨论了金属钨粉的工业生产方法。虽然掺杂Ｋ、Ａｌ、Ｓｉ的钨粉的生产方法与末掺杂的钨粉的生产方法基本相同，但仍有一些特别的区别要介绍。本文分析     

硅电炉技术

1988年在阿根廷门多萨Carbometal厂已经开始一项广泛的研究和发展程序。目的是要改善关于生产硅及其合金的操作成本和技术。一个金属收集器(副炉缸)与硅铁炉的炉膛结合成一体以及试验了一个独立电源用于出铁电极。根据由炼钢炉得到的计算机基本数据的研宂最近得到的理论研究了电气变量。最后在大、小炉子上安装了一个没有筋片的自焙电极,用于生产碳化钙、75％硅铁和金属硅。