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本文讨论了智能CAD中图形数据库管理系统DBMS与知识库管理系统KBMS的组织与实现,同时结合火炮设计专家系统GMCADES讨论了DBMS与KBMS的接口问题。 相似文献
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采用Auger电子分光镜(AES)检测由高剂量离子注入产生的硅上表面沾污层。纵向剖面分析证明当在注入机靶室的真空系统中用普通扩散泵油,Si~ 或BF_2~ 的高剂量注入导致~100A厚的碳质表面层。注入机剩余真空的碳氢化合物的物理吸附以及辐照感应聚合反应是形成这种沾污层的最大原因。在重注入硅中经常观察到这种沾污层可引起非均匀腐蚀特性和非欧姆接触结构。用有机溶剂清洗或过氧化物清洗溶液,在550℃下退火100分钟,并按势垒层剥除工艺估计阳极氧化及HF解吸作用。只发现HF解吸和阳极氧化对完全清除聚合层有效。实质上,用过氟化聚醚油替换靶室真空系统中的普通扩散泵油清除沾污。最近几年,在制造双极晶体管,FET源和漏区以及在其它各种应用中,对用高剂量离子注入工艺的要求日益增长。然而,已知离子束感应吸附的碳氢化合物聚合,导致在离子注入的样品(1.2)上形成碳化表面沾污层。注入机的剩余真空是碳氢分子的主要来源。沾污层的厚度随剂量的增加而增长,所以,重注入Si呈现出可注意到的沾污问题,反冲碳可产生结构上损伤浅P—n结的反相电流,并在注入退火后形成硅碳化物。为了更好的了解这种沾污问题并阐明解决方法,使用Auger电子分光镜(AES)检查在各种注入条件下制备的高剂量注入的硅表面层。估计了各种表面层的剥离技术,也分析了注入机真空系统中的注入温度效应和扩散泵油的种类。最后,估计化学腐蚀和欧姆按触结构对表面沾污的效应。 相似文献
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Theprecipitationofpro eutectoidferritefromausteniteiscontrolledbydiffusioninFe Calloys .Withtheassumptionthatthemigratinginterfaceisalwaysinlocalequilibrium ,earlyin 194 9,ZenerC[1] explainedthediffusionalgrowthofpro eutec toidferritebyusingtheFick’slaw .Since… 相似文献
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Si1-x-yGexCy ternary alloy films were grown on monocrystalline silicon substrates by C ion implantation and subsequent solid phase epitaxy (SPE). Two-step anneal-ing technique was employed in the SPE. The structure and electrical properties of the alloy films were determined using Fourier transform infrared spectroscopy and van der Pauw Hall measurements, respectively. With the optimization of two-step anneal-ing technique for the implanted Si1-x-yGexCy layers, a certain amount of C atoms occupied substitutional sites and no SiC was formed. 相似文献
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氟蚜螨又叫果乃胺,英文名称为Nissol,其化学名称为N-甲基-N(1-萘基)氟乙酰胺。据国外有关资料报道,氟蚜螨是一种杀虫、杀螨剂,对抗性螨有很好的防治效果,但国内尚未见有报道。1987年和1988年我们利用福建省 相似文献
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粉末高温铝合金及其复合材料 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了粉末高温铝合金研究现状和存在的主要问题。着重讨论了粉末高温铝合金的组成、耐高温机理、制备方案、性能特点和应用前景。从金属学角度提出了引进外来弥散质点以制备粉末高温铝基复合材料的新观点。 相似文献
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