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用电子束蒸发氧化铪靶的方法.在SOI(绝缘体上硅)材料上制备了氧化铪薄膜,随后在氮气中进行快速退火(600℃.300s)。借助掠角X射线衍射(GAXRD)、X射线光电子能谱(XPS)、高分辨透射电镜(HRTEM)技术分析了样品的微观结构.研究了样品在退火前后发生的组成及结构变化.结果表明退火后氧化铪薄膜由退火前的非晶态转变为单斜结构的多晶态,薄膜中的O/Hf原子比较退火前更接近化学计量比2。借助扩展电阻探针(SRP)技术考察了退火前后薄膜的电学性能.证明在SOI材料上制备的多晶氧化铪薄膜同样具有较好的电介质绝缘性能。 相似文献
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基于矢量合成的平衡机最小可达剩余不平衡度测试方法的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对国标规定的平衡机最小可达剩余不平衡度评定方法的分析和研究,指出了该方法在原理和方法上所存在的问题,并且提出了一种全新的评定方法。这种基于矢量分析的新的评定方法能够快速、准确地计算出转子的最小可达剩余不平衡度,提高平衡机测试的准确性和现场测试效率,为更加客观地评价被测平衡机的综合性能提供了依据。 相似文献
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增大供氧强度,增加铁水热装比是缩短冶炼周期,减少电耗、铁损的有效途径。介绍了70t直流电炉在供氧流量增加后,增加铁水热装比快速脱[C]的实践。 相似文献
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910.
阐述了对现行钢筋混凝土用热轧带肋钢筋标准GB14 99- 1998几点疑问 ,指出该标准的一些不足之处 ,并阐述了自己的观点。 相似文献