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为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶,用常规的接触式曝光法,将光刻掩模上的二维图形转移到AZ-4620光胶层上,显影后利用ITO玻璃的导电性,在AZ-4620光胶曝光处电沉积镍,原掩膜图形可保真地转移到ITO玻璃表面的镍镀层上,使紫外光透过ITO玻璃基底进行反面曝光,从而保证了光刻掩模与SU-8光胶层间的完全接触,消除了厚光胶层表面不平在曝光时的散射和基片材料的反射影响,成功制备了深宽比为16、侧壁垂直度为89.5°的微结构.本方法使用设备简单,加工成本低. 相似文献
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当把浓铝土矿矿浆加热到160℃时,一水软铝石即析出,并在溶出阶段的热交换器器壁上结疤。在赤泥分离状态下,三小铝石便析出在不含一水软铝石的赤泥里。只有一水软铝石存在于赤泥中,始能析出。在赤泥中含有各种矿物时,针铁矿会对三水铝石的析出显示出最大的种子作用。钙的各种化合物都能控制三水铝石的析出,但不能控制一水软铝石的析出。 相似文献
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采用特殊的方法预处理前驱体,选择合适的高温隧道推板窑温度区域,结合先进的测试仪器监控工艺过程,制备出了高结晶度钴酸锂。并与日本生产的18650型锂离子电池正极材料钴酸锂、国产常规钴酸锂进行了对比分析。结果表明,宜兴新兴锆业有限公司生产的LiCoO2结晶度高、晶粒尺寸大、比表面积小、振实密度大、I006/I104和I006/I003的值也大,(006)峰强度高,与日本生产的18650型电池正极材料性能相当。 相似文献
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以氯甲酸(2-乙基)己酯为原料制备过氧化二碳酸双(2-乙基)己酯(EHP),研究了加料方式、反应温度、反应时间、投料比等因素对产品的影响。结果表明:氯甲酸(2-乙基)己酯与过氧化钠的摩尔比为1:0.58~0.62,反应温度为15℃~20℃,反应时间为3~4小时,以异十二烷为溶剂,可以得到高效、无毒的EHP溶液。 相似文献
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