光刻镜头象质测试方法

提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法，并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单，测量精度高。     

干涉法表面形貌测量使用的扩展深度测量范围的方法

系统归纳了在干涉法表面形貌测量中使用的用来扩展深度测量范围的各种方法,分析了这些方法的原理、特性及性能指标,比较了这些方法的优越性。     

迈向21世纪的光刻技术

介绍了紫外光刻技术,电子束光刻技术,Ｘ射线光刻技术以及与这些技术相关的一些单元技术的最新进展,概要介绍了这些技术最热门的研究课题,阐述了这些技术的发展前景。     

新材料硅泥粉在结422焊条中的应用

结422电焊条是我厂的主导产品,占焊条总量的90%以上,年产量为5万吨,为了提高企业的经济效益和产品质量,通过新材料硅泥的应用,进一步提高产品质量,使结422焊条达到日本新日铁NITTESU—03牌号的水平,同时改善了焊条压涂工艺,降低药皮成本,具有明显的技术经济效益。一、前言结422焊条是钛钙型药皮,其药皮的主要成份是由二氧化钛、硅酸盐、碳酸盐组成。目前,二氧化钛一般由还原钛铁矿,金红石和钛白粉加入到药皮中。其中钛白粉由于具有     

数控励磁调速节能技术在水泥行业的应用

数控励磁调整技术是集成现代电力电子技术和控制技术最新成果,它应用于绕线转子异步电动机的高速,调节电动机的转速以达到节能和改善工艺的目的。     

绕线型异步电动机转子串液体电阻调速节能

一、前言绕线型异步电动机转子串电阻调速的原理是简单的。异步电动机的转速为n=(60f_1)/P(1-S)。转子串电阻调速是通过改变转子电阻。从而改变电动机机械特性曲线与负载的机械特性曲线交点的转差率进行调速的。但有一种看法认为转子串电阻调速在调速过程中,外串电阻上要消耗功率。因此串电阻调速方法是落后的。与此看法相反,我们认为转子串电阻调速方法像其他各种调速方法一样,有缺点、也有优点。因此有必要从实践到理论进行科学的细致分析、总结。结合我国国     

论网络虚拟社区与高校思想政治教育的结合

分析了网络对高校思想政治教育的挑战和影响,认为大学生虚拟社区应该成为高校思想政治教育的一个新的阵地。从促进虚拟社区与高校思想政治教育相结合的角度,提出了加强大学生虚拟社区建设和管理的措施。     

深刻蚀连续浮雕微光学元件的衍射分析

讨论了深蚀刻连续浮雕位相微光学元件的衍射特性．给出了槽形与衍射效率关系的初步研究结果．对实际制作具有指导意义．     

用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械

报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械,动件和固定件同时制作。同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接涂敷,能直接光刻成形。此外,用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后,结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。     

弹性导轨受力变形分析计算

推导了平行四边形型弹性导轨在外力作用下产生变形的计算公式。从理论上比较并通过具体设计验证了公式的正确性。这些公式对任何尺寸的弹性导轨都是适用的。