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11.
由于半浸没式物镜极靴下方存在磁场,用扫描电镜表征磁性样品时存在因样品被吸入物镜而严重影响成像的风险.本文中,日立S4700型场发射扫描电镜突然出现图像信噪比急剧下降、像散不能消除的问题,经过分析和排查发现是由软磁性的泡沫镍被吸入物镜极靴导致的故障.本文从物镜结构、合轴、像散三个方面分析了磁性样品对电镜成像的影响,并结合...  相似文献   
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