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为了达到在短时间内提高铟镓锌氧化物薄膜晶体管(a-IGZO TFT)性能的目,本文提出了一种快速热处理(RTP)的后处理方法,并对其升温时间进行研究。实验结果表明RTP工艺能够在短时间内实现a-IGZO薄膜内部的缺陷复合与断键重连,提升a-IGZO薄膜质量,从而提高a-IGZO TFT的器件性能。基于RTP工艺的a-IGZO TFT获得了良好的电学特性,其阈值电压与亚阈值摆幅低至0.2 V与0.31 V·decade-1,与未退火的a-IGZO TFT相比分别降低了67%与77%;其载流子迁移率与开关电流比高达8.7 cm2/Vs与7.8×106,与未退火样品相比分别提升了171%与1.1×103倍。与此同时,RTP的处理时间仅需不到5 min,大幅度缩短了a-IGZO TFT所需的后处理时间。 相似文献
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电站循环水冷却塔是利用循环水和空气的接触,通过蒸发作用来散去汽轮机凝汽器循环水热量的一种设备,由于闭式循环水散热效果好坏直接关系到凝汽器的真空,对机组效率有很大影响。通过某电站循环水冷却塔改造实例,对比改造前后运行参数,得出对小型电站循环水冷却塔设备选型的一些结论。 相似文献
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网络经济时代具有信息相对充分、合作更加方便、知识相对缺乏、合作增加知识4个特点。与网络经济时代相适应,企业的组织形态也在发生变化,出现了“网络型企业”。网络型企业是指企业的组织结构采取了不同于传统的直线型组织结构的网络型组织结构。这种组织结构在形式上具有网络型特点,即联系的平等性、多重性和多样性。 相似文献
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彩色等离子体显示器中引起的容性电流构成了寻址IC中MOS管开关电流的主体,以此为基础建立了寻址功耗等效电路模型,得到寻址功耗计算公式。典型图案寻址功耗的实验结果表明,寻址功耗和各子场图像数据在列方向上的变化率,以及相邻列之间寻址数据差在列方向上的变化率成正比,和图像信号的平均强度没有关系。寻址功耗的理论计算值和实验结果一致,寻址等效电路模型能够对不同图案的寻址功耗进行合理的解释,解决了寻址功耗检测对象不确定和检测的准确性问题。 相似文献
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