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31.
碳离子注入对硅片表面黏附性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
为了改善单晶硅材料表面的黏附性能,对单晶硅片进行碳离子注入,注入剂量为2×10~(16)ions/cm~2,注入能量分别为40 keV和80 keV.采用X射线衍射、X光电子能谱仪和三维轮廓仪研究了碳离子注入前后硅片的晶体结构、化学组分及其面粗糙度,通过接触角测定仪和扫描探针显微镜测量了碳离子注入前后硅片表面的接触角和黏附力的大小.结果表明:碳离子注入改变了硅片表面的晶体结构,在表面形成富含碳和碳化硅的改性层,较注入前粗糙度和接触角分别增加70%~90%和1.7~1.8倍;随着碳离子注入能量的增大,疏水性的碳和碳化硅增多,粗糙度和接触角分别增加9.5%和3.4%.在33%和70%这2种相对湿度条件下,碳离子注入后硅片表面的黏附力分别减少54%~57%和34%~37.3%;碳离子注入能量增加,黏附力分别减小6.7%和4.8%.相对湿度从33%增加到70%时,单晶硅、注入能量为40 keV和80 keV的硅片表面的黏附力分别增加1.24,2.22,2.28倍. 相似文献
32.
以矿用钢丝为研究对象,模拟典型矿井工况,分别对不同表面处理方式、不同浸泡介质下的钢丝进行全浸泡正交腐蚀试验,通过极化曲线与阻抗谱测量来研究不同钢丝的腐蚀机理,通过观察不同浸泡时间下钢丝的表面形貌及XRD分析来研究不同钢丝的腐蚀过程。结果表明:酸性介质下钢丝在浸泡中期便开始形成钝化膜,而碱性介质下钢丝直到浸泡后期才开始形成钝化膜,酸性介质比碱性介质更易使钢丝发生腐蚀,在2种腐蚀介质下未处理钢丝由于表面注油层对基体的有效保护,耐腐蚀性能优于裸钢丝;点蚀为钢丝腐蚀最常见的表现方式,不同表面处理方式、不同浸泡介质对于点蚀坑的形貌、产生时间及扩展方式具有重要的影响;长期浸泡后,所有钢丝试样表面外锈层主要成分为FeO(OH),内锈层主要成分为Fe3O4。 相似文献
33.
研究了反应压力对金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术制备未掺杂ZnO薄膜的微观结构和光电特性影响.X射线衍射(XRD)和扫描电子镜(SEM)的研究结果表明,随着反应压力的降低,ZnO薄膜(002)择优峰的强度呈现相对减弱趋势,并且出现了较强的(110)峰;Hall测量表明,低的反应压力有助于提高薄膜电学特性.200 Pa时制备出的ZnO薄膜具有明显的"类金字塔"状绒面结构,电阻率为1.28×10-2 Ω·cm.实验中沉积的ZnO薄膜在600~2 600 nm内平均透过率超过80%,而短波长范围由于光散射作用,ZnO薄膜的垂直透过率有所下降. 相似文献
34.
注入能量对硅片的表面性能影响的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以单晶硅(111)作为研究对象,选用注入剂量为8×1015ions/cm2,注入能量分别为50,80和120 keV的C+注入方法对单晶硅片进行离子注入.利用原位纳米力学测试系统对C+注入前后硅片的纳米硬度和弹性模量进行测定,在UMT-2型微摩擦试验机上对C+注入前后硅片开展往复滑动微摩擦实验,研究其摩擦系数和声发射信号的变化,采用T-1000型表面轮廓仪测量C+注入前后硅片的磨损量,利用S-3000N型扫描电子显微镜表征C+注入前后硅片的磨损机理.结果表明,C+注入能量为50 keV硅片的纳米硬度和弹性模量大幅减小,而其他2种注入能量的纳米硬度和弹性模量与单晶硅相差较小;C+注入后硅片的减摩效果得到了提高,在小载荷下其摩擦系数大幅度降低,但在载荷达到一定值后,摩擦系数和声发射信号会迅速增加并且产生磨痕;注入能量为120 keV的硅片的减摩效果最佳,注入能量为80 keV和120 keV的硅片的抗磨性能较好;C+注入前后单晶硅片的磨损形貌在小载荷下以黏着磨损为主. 相似文献
35.
摩擦式提升机钢丝绳与摩擦衬垫之间的摩擦弧由于钢丝绳张力的变化而产生动态变化,而摩擦弧的变化直接影响到提升机的提升能力和安全性。为研究摩擦式提升机动态工况下摩擦弧的动态变化规律,建立了摩擦式提升机钢丝绳的动力学模型,通过Matlab/Simulink仿真计算获得了摩擦轮切点处钢丝绳的动态张力值,在此基础上建立了摩擦传动动态摩擦弧的理论模型,探讨了摩擦因数、载荷及加速度等参数对摩擦弧的影响规律。研究发现,在提升机加速阶段的最大张力值及变化幅值最大,此阶段内的动态摩擦弧及其变化幅值也达到最大,摩擦因数的大小对摩擦弧具有决定性的影响作用,较小绳端载荷之比(小于1.8)以及合适的加速度建立时间(接近1.4 s)均能使得动态摩擦弧显著降低。 相似文献
36.
<正>认识汽轮机的启动过程就是认识相对静止和运动的金属部件的加热过程,因此掌握其加热规律和特点,就能使汽轮机的启动有章可循和安全可靠地进行。国产200 MW汽轮机组启动中,解决好以下几个主要问题,对启动具有比较重要的意义。1汽轮机启动时的参数与缸温的情况(1)冲动参数:对于缸温为室温或小于50℃的机组的启动,主汽压力选择≥1.5 MPa,主汽温度选择≥240℃,这是规程中的一般规定。为了使中压缸具有较好的加热条件,在启动中,一般选择主汽温度为260~280℃,再热汽 相似文献
37.
38.
主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(Transparent conductive oxides,TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展。主要包括溅射湿法刻蚀技术、等离子体刻蚀玻璃衬底技术、等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、修饰层改善ZnO薄膜表面技术、梯度杂质掺杂技术、复合特征尺寸生长设计以及直接生长绒面结构ZnO薄膜技术和宽光谱ZnO薄膜生长设计等。此外,对薄膜太阳电池中的先进光管理(Light management)结构设计及新材料应用进行了探讨和展望。 相似文献
39.
变电站中一般不对35 kV/10 kV等级的母线配备专门的母线保护,而是由主变保护实现对母线的后备保护,导致动作时间过长。针对这一情况,提出一种基于闭锁信号的加速跳闸方案。该方案由出线保护、分段(母联)保护以及主变低压侧后备保护组成。通过闭锁信号实现保护之间的配合以及断路器失灵时的加速动作。当某一级保护检测到故障时,向上级保护发送闭锁信号;保护动作以后,解除闭锁信号。通过实例分析,对保护方案的动作情况进行了分析。针对不同位置的故障情况,保护方案都能快速切除故障,证明了方案的有效性。 相似文献
40.