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多媒体的应用,无疑是教育现代化的一个重要标志。它不仅把学生的听觉、视觉等一起调动了起来,而且还节省了时间,提高了课堂效率。那么,在小学语文阅读教学中,教师该怎样巧用多媒体辅助教学呢? 相似文献
132.
作为极紫外光刻机的一个关键子系统,真空工件台的精度、速度、加速度、动态特性及同步性能对于光刻图形精度和光刻机的产率都起着重要作用.设计了一种适用于极紫外光刻机的真空工件台系统,该系统具有体积小、质量轻、精度高等特点.为了验证结构的合理性,还对工件台进行了结构仿真:包括静态仿真、瞬态仿真和模态仿真.仿真结果表明:结构设计合理,结构变形和固有频率均能满足光刻机的要求. 相似文献
133.
将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题.通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析.计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度.根据优化设计,外加压力在0.2~1.4× lO.Pa间变化时,电容值在0.0251~0.0281 pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在Xy面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%.因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性. 相似文献
134.
135.
对外供热凝结水回收系统的优化设计与技术改造 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对外供热凝结水回收处理系统实际运行状况的跟踪、分析和研究,对整套系统在设计和配置上进行了优化设计和技术改造,并达到了预期的效果。确保了该系统的安全运行,节约了水源和热值,实现了安全效益、经济效益双丰收。 相似文献
136.
137.
光刻机的演变及今后发展趋势 总被引:13,自引:2,他引:13
微电子技术的发展一直是光刻设备和技术发展与变革的动力。通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战,揭示下一代光刻设备的发展潜力,结合比较极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点,预言将来以极紫外光刻机、电子束曝光机和某种常规光刻机结合,来实现工业需要的各种图形的制备。 相似文献
138.
超大数值孔径(NA)光刻成像中,掩模保护膜上的入射光线入射角范围增大,用传统方法优化掩模保护膜难以增大斜入射光的透射率。基于薄膜光学原理提出一种新的掩模保护膜优化方法,确保光线在整个入射角范围内的平均透射率最大。利用琼斯矩阵方法探讨膜层的透射属性和相位特征,得到相应的琼斯光瞳来分析膜层带来的偏振像差。结果表明,对比传统的掩模保护膜优化方法,新方法能有效提高斜入射光线的透射率,减小膜层引起的偏振像差。新的掩模保护膜优化方法能为超大NA光刻成像的掩模保护膜设置提供必要的理论基础和技术支撑。 相似文献
139.
利用Prolith 9.0软件计算了浸没式ArF光刻中杂散光、光线偏振态和几何像差对目标线宽为65 nm的L形图形成像质量和光刻性能的影响,研究了杂散光、光线偏振态和几何像差对L形图形成像质量和光刻性能的影响规律。结果表明,杂散光使得L形图形图像对比度降低、线宽减小和图形位置误差增大;像散、慧差和球差可导致成像质量降低、线宽和图形位置误差增大;通过调整光线偏振态,可以提高成像质量、改善光刻性能、抑制L形图形对杂散光和像差的敏感度。 相似文献
140.
分别对5种进口冷轧钢板的化学成分、力学性能、显微组织和形变织构等特征性能进行了测定和分析,并探讨了这些特征性能之间的变化关系和影响方式。研究表明,SPCEN—SD冷轧钢板的成形能力最好,而SPCC-SD冷轧钢板的成形能力最差;冷轧钢板的特征性能之间具有较强的关联性和一致性,在工程上应充分利用这种特征性能之间的关联对应关系,采取合理便捷的方法,有效地预知和评定其成形能力。 相似文献