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41.
针对司家营铁矿北区Ⅲ采场地下矿实际情况,选用乳化炸药现场混装技术,优化了爆破施工,改善了工人的作业环境,有效地提高了爆破效率。 相似文献
42.
研究了阻挡层在化学机械抛光过程中表面活性剂的作用。利用5种活性剂体积分数不同的抛光液对3英寸(1英寸=2.54 cm)Cu/Ta/SiO2光片进行抛光。通过抛光前后质量变化可得各晶圆片的抛光速率,再对12英寸布线晶圆片进行抛光,利用台阶仪测量抛光前后碟形坑大小的变化,最后利用原子力显微镜对抛光后布线晶圆片的表面形貌进行测试。研究表明抛光液中活性剂体积分数不同会引起抛光速率的变化,也会影响碟形坑的修正效果。当抛光液中活性剂体积分数达到2.0%时,修正值达到85.6 nm/min,优于其他活性剂体积分数时的修正值。另外,活性剂体积分数的增加有助于降低抛光后晶圆表面的粗糙度。活性剂体积分数小于3.0%时,粗糙度随着活性剂体积分数的增加而降低。这一发现可以对配制抛光液时活性剂体积分数的确定起到一定的参考作用。 相似文献
43.
We have proposed a TSV (through-silicon-via) alkaline barrier slurry without any inhibitors for barrier CMP (chemical mechanical planarization) and investigated its CMP performance. The characteristics of removal rate and selectivity of Ti/SiO2/Cu were investigated under the same process conditions. The results obtained from 6.2 mm copper, titanium and silica show that copper has a low removal rate during barrier CMP by using this slurry, and Ti and SiO2 have high removal rate selectivity to Cu. Thus it may be helpful to modify the dishing. The TSV wafer results reveal that the alkaline barrier slurry has an obvious effect on surface topography correction, and can be applied in TSV barrier CME 相似文献
44.
46.
王胜利 《数字社区&智能家居》2005,(4):57-59
由于管理的需要,对校园网的信息服务必须进行内外网区分,然而目前校园网建设中,由于多校合并出现的跨区域问题给应用带来了不便。针对这种情况,本文提出了专业的解决办法,该办法无需投入硬件设备,经济高效,尤其对位于外网的应用需求不是非常频繁时,不失为一种很好的方案。 相似文献
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48.
49.
长岭炼油厂延迟焦化装置设计加工能力为60万吨/年,原料为大庆原油减压渣油。1971年建成投产后,我们在学习兄弟炼厂经验的同时,狠抓了技术练兵,进一步统一操作,装置运转周期不断延长。第八周期(1976—1977)连续运行683天。消耗指标和加工成本也逐年降低,见表。 相似文献
50.