基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术

针对MEMS(micro-electro-mechanical system)和NEMS(nano-electro-mechanical system)对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法不仅保留了传统基底弯曲法的所有优点,而且消除了其系统误差.使用ANSYS对测试结构进行了模拟和优化,对于30nm厚的薄膜,应力检测的分辨率为1.5MPa,优于目前国际上的相关报道.本测试结构使用各向异性腐蚀和DRIE(deep reactive ion etching)完成,加工工艺简单实用.文中使用该测试技术对常用MEMS薄膜的残余应力进行了测量,结果与其他测试方法得到的结果基本一致,测量重复性优于1%.该技术可以用于测试纳米级薄膜及超低应力薄膜的内应力.     

MPEG-2传输流多路复用的软件实现方法

提出了一种MPEG-2单节目传输流多路复用的软件实现方案。该方法在不改变原有单路传输流(TS)的节目参考时钟(PCR)的情况下,通过修改参加复用的传输流的节目特殊信息(PSI)以及将公共包识别符(PID)进行重新映射,并利用传输速率和PCR之间的关系,仅采用控制空包插入个数以及各传输流中TS包插入位置的方法,将参加复用的各路单节目传输流复用为一路多节目传输流。     

自适应体系结构的动态业务流程管理研究

研究了基于需求驱动的自适应体系结构的动态业务流程管理框架,设计了业务流程案例库,采用基于案例推理中的最近相邻检索策略匹配正确的流程案例,然后启动流程引擎执行BPEL描述的相应业务流程.     

高校校园信息化建设的研究

随着我国知识经济时代和信息化时代的到来,我国高校进入了信息化校园的建设当中。本文主要介绍了我国 高校信息化建设的基本内容、现状和存在的问题,并针对问题提出了相应的解决措施。     

金属氧化物掺杂对钙基吸附剂吸附CO_2性能的影响

化石燃料火电厂排放的CO2约占全球CO2总排放量的1/3,采用化学吸附法直接脱除高温烟气中的CO2既可以减少系统的能量损失又可以保护环境。文中采用机械混合法制备金属氧化物掺杂的钙基吸附剂,并以静吸附量和CO2吸附率为评价指标,气相色谱为检测手段,在自制吸附剂评价装置上,研究不同金属氧化物的掺杂对钙基吸附剂吸附性性能的影响。实验表明,掺杂金属氧化物对钙基吸附剂的吸附性能有一定影响,其中质量分数为1%的Li2CO3掺杂的钙基吸附剂的静吸附容量与钙基吸附剂的理论吸附量比较接近,并且优于其他金属氧化物掺杂的钙基吸附剂。     

CPM信号的微积分解调算法分析

连续相位调制（Continuous Phase Modulation）是一类包络恒定且相位连续的调制方式,具有很高的带宽和功率利用率,优良的包络和相位特性使其适用于空间通信。在分析CPM信号的模型基础上,研究了基于微积分的代数运算方法来完成对CPM信号的解调,该方法几乎不需要任何的先验信息和参数信息就能实现信号的盲解调,目的能够降低接收机的复杂度,是一种优秀的CPM信号解调方式。     

高校体育专业双语教学中的情感因素分析

情感因素是支持双语教学不可忽视的因素。本文通过对影响体育专业双语教学的学生个体情感因素：学习焦虑、学习动机、自信心进行剖析,探索符合体育专业学生双语学习的策略,培养学生的积极情感以促进体育双语的学习。     

系泊系统的研究设计

本文所建立的近海系泊系统模型主要用于研究系泊系统在不同环境下的内在关系,进而给出适应不同情况的设计方案。影响系泊系统的主要因素分别为锚链的型号,长度和重物球的质量,以及锚链的倾斜角度,浮标的吃水深度和游动区域,通过对系统中各个部分进行受力分析,建立相关的代数模型。该模型通过建立平衡方程组,采用最优控制策略、二分法收敛性和迭代判断,反复迭代计算求解。分别把锚链的型号,长度和重物球的质量作为自变量,把锚链的倾斜角度,浮标的吃水深度和游动区域作为因变量,建立模型进而得出不同环境下系泊系统的设计方案。     

不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究

测量了淀积在三种不同的牺牲层材料(热氧SiO2、LPCVD SiO2、LPCVD PSG)上LPCVD氮化硅薄膜的应力,结果表明,不同牺牲层上淀积的氮化硅薄膜残余应力存在较大的差异.从多方面分析了残余应力差异产生的原因,实验得到的结果为器件的设计提供了更准确的依据.     

欧盟陶瓷工业污染防治最佳可行技术

正1前言环境立法是改善环境质量的重要推动力,在环境保护方面,欧盟一直走在世界前列,并较早开展相关的立法工作,形成了较为完善的环境法律法规体系。在该体系中,关于环境标准方面的法律法规基本上都是以指令形式颁布的。欧盟各行业的环境技术管理主要是根据欧盟综合污染防治指令(IPPC,integrated pollution prevention and control)的规定,以最佳可行技术(BAT,Best Available Techniques)作为