多晶高效PERCT电池工艺研究

文章主要对高效PERRCT电池关键工序进行研究,针对每个工序的重要工艺点进行分析,找出合理的效率提升方向,经过反复测试验证,确定了最优的工艺参数,效率综合提升了0.2%。     

多晶PERC太阳电池的背面与正面结构性能优化

多晶硅太阳电池以其价格低廉的优势成为低成本太阳电池的首选,但其光电转换效率提升空间有限。钝化发射极和背面电池（PERC）技术是当前晶硅太阳电池提效的主要途径。多晶PERC电池结合了多晶硅电池的低成本和PERC电池的高效,是当前多晶硅电池的研究热点。本文研究了多晶PERC电池的背面和正面结构优化与设计,提出了提高多晶PERC电池效率的产业化技术方法。通过在硅片背面用三层SiN_x:H薄膜来代替常规双层SiN_x:H薄膜,在保证优良的背面钝化的同时,使电池长波响应得到改善,电池光电转换效率由20.19% 提升至20.26%。优化多晶PERC电池的背面激光开窗工艺,使多晶电池效率较常规工艺提升0.11%。而在多晶PERC电池的正面叠加选择性发射极技术,可较常规工艺提升电池效率0.10%。综合运用多种提效手段有利于保持多晶PERC电池的竞争力。     

板式pecvd制备氧化铝工艺研究

相比原子层沉积(ALD),等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在氧化铝钝化膜制备方面沉积速率快。利用板式PECVD在电池背表面制备氧化铝钝化膜,膜厚控制在7nm～10nm,折射率大于1.63,双面氧化铝钝化少子寿命可达3ms,表面复合速率低至3cm/s。结合背激光开槽开孔率的增大,应用到量产钝化发射极背接触(PERC)晶硅电池,效率可达22.3%。