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介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响刻蚀效果的几个主要工艺因素。提出了一种实现1μm宽的硅深槽刻蚀工艺途径;并给出了1μm宽、8μm深、侧壁及底部光洁的硅深槽刻蚀工艺条件。 相似文献
34.
基桩反射波法检测的时域定量分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
基桩反射波法检测是通过分析在桩顶接收到的入射波和反射波信号来判断基桩质量,如判断桩身是否存在缺陷及其位置等,但就如何确定桩身缺陷的严重程度、如何确定反射波及其强弱等重要问题,目前基本上还是采用简单的定性分析方法.定性分析存在较多的人为因素,如用于反映桩身缺陷严重程度的关键参数--反射波,其强弱只能用微弱、明显、强烈等来表示,多强的反射波幅值为微弱、明显、强烈?对桩身缺陷程度也用类似的词,如轻微、明显、严重等不确定词来形容,多严重的缺陷为轻微、明显、严重?要解决这些问题,就需要一个量的概念.动测结果的定量化是动测界争论最多,而且一直悬而未决的问题.我们对这一问题进行了深入的探讨,并取得了一些有实用价值的理论和方法,本文就将我们提出的时域定量分析方法--近似振源法,作一简单的介绍. 相似文献
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裂解炉先进控制系统在乙烯生产过程中的应用 总被引:5,自引:0,他引:5
抚顺乙烯厂乙烯装置SCS(优化控制)系统是80年代末由美国ABB SIMCON公司引进的大型优化控制软件项目,其中裂解炉先进控制(APC)系统为该软件系统的核心。简述了裂解炉先进控制系统,阐述了对引进软件系统的改进措施,介绍了投用效果。 相似文献
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尽管全球资本市场偏冷,但风险投资和私募股权基金在中国仍然处于持续快速发展的阶段,如何建立既在法律上可行,又在税收上优化的投资架构和业务模式是VC/PE应该特别关注的。 相似文献
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伴随全球气候变暖,暴雨事件的频次与强度呈增强趋势,对于暴雨时空演变规律的研究对区域防洪减灾和水资源管理具有重要意义。基于1960—2018年日尺度降雨数据和1980—2017年台风过境期间的小时尺度降雨数据对温州市的暴雨特征时空演变规律进行分析,使用的分析方法包括去趋势预置白的Mann-Kendall趋势检验、基于K-means聚类算法的雨型分析等。日尺度暴雨指标的趋势和突变检验结果显示,暴雨指标受到地形和地理位置影响较大。小时尺度降雨数据的暴雨指标表明,台风暴雨指标随下垫面特征和地形特征不同而呈现不同的特征和变化趋势;山区地区的降雨总量和持续时间的上升趋势高于平原地区。小时尺度暴雨雨型分析表明,温州市暴雨雨型以单峰型为主,单峰中期型占比最大。研究成果有助于加深对该区域暴雨时空演变规律的认识,为区域防洪减灾和水资源管理提供参考。 相似文献
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最近,益阳橡胶塑料机械集团有限公司先后与国内外用户签订了价值近2000万元的炼胶与硫化机产品销售合同,至此该公司今年已有合同值达6亿多元,同比增长45%,再创历史新高。 相似文献
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交通荷载应力路径下砂土地基变形特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在交通荷载作用下,地基土单元不仅偏应力大小周期性变化而且主应力轴连续旋转。为了研究交通荷载应力路径下地基土单元排水变形特性,利用动态空心圆柱仪对K0固结下饱和砂土进行了一系列"苹果型"动力循环应力路径以及普通动力循环应力路径试验。两组应力路径试验结果的对比表明交通荷载应力路径引起的主应力轴连续旋转会加速竖向永久变形的累积,并且对竖向回弹模量具有软化作用,而且随着循环应力比的增大,两种应力路径下变形特性差异变得更加明显。最后,基于Uzan回弹模量模型提出了相应的修正公式用来考虑主应力轴旋转效应。 相似文献