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结合流体力学和表面反应动力学分析了SiH2Cl2+GeH4+H2减压化学气相外延系统.计算和讨论了由于生长压力的变化而导致的反应管内速度分布、温度分析和反应气体浓度分布的变化.计算了生长温度为700℃时,GeSi外延层中St、Ge和GexSi1-x生长速度与初始GeH4流量的关系.从理论上解释了GexSi1-x生长速度随GeH4流量的变化关系,并与P.M.Garone等人的实验结果进行了比较. 相似文献
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结合流体力学和表面反应动力学分析了SiH2Cl2+GeH4+H2减压化学气相外延系统。计算和讨论了由于生长压力的变化而导致的反应管内速度分布,温度分析和反应气体浓度分布的变化。计算了生长温度为700℃时,GeSI外延层中Si,Ge和GexSi1-x生长速度与初始GeH4流量的关系。 相似文献
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采用欧洲经济共同体提出的结构完整性评定方法SINTAP(Structural integrity assessment procedure),对焊趾处含有表面裂纹(裂纹长度和深度分别为2.5mm和1.1mm)的SAF2205双相不锈钢管道非匹配焊接接头进行了安全评定。根据拉伸试验结果,建立了双相不锈钢管道焊接接头焊缝和母材的一级、二级评定曲线,测定了SAF2205钢焊接接头的低温(-18℃)断裂韧度,为安全评定提供了试验依据。评定结果表明,不论是采用一级或是二级评定,各评定点均在评定曲线定义的范围内,说明该结构是安全的。根据计算得到的极限裂纹尺寸进行了疲劳裂纹扩展寿命估算,最终疲劳寿命为0.133年。 相似文献
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远程诊断中心是船用柴油机远程故障诊断和维修管理系统的核心部分。文中介绍了一种基于B/S模式的船舶柴油机远程诊断中心的设计思想和关键技术的实现方法。 相似文献
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一种无线数传组网方案 总被引:3,自引:0,他引:3
本介绍并分析利用点对点无线直接序列扩频数传技术结合有线总线通信技术,实现点对多点的数传组网方案。 相似文献
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本文首次提出了一个用以分析GexSi1-x合金CVD生长的流体力学和表面反应动力学的统一模型。利用流体力学的偏微分方程组计算了反应管内的速度场、温度场和浓度场。 相似文献
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