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激光辐照技术是近年来广泛用于半导体工艺中的一种行之有效的技术,已在离子注入的退火、形成硅化物和欧姆接触等方面取得了令人满意的效果。本文叙述用连续式CO_2激光器,在不同的时间内,对MO S结构进行辐照,根据c—v和c—t技术测量照射前后硅片的少数载流子寿命和氧化层中的固定电荷,实验结果表明:照射后硅片的少数载流子寿命明显降低,固定电荷增加。最后对少数载流子寿命降低的原因作了较为详细的讨论。 相似文献
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1概况长湖水电厂装机2×36MW,70年代初投入运行。水轮发电机组制动器活塞直径为220,弹簧式复归,如图所示。长期以来,制动器复归不可靠,机组停机后,运行人员经常要把未复归的制动器闸板撬下。其原因是:(1)制动器在制动时,由于制动摩擦力的作用,制... 相似文献
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提出一种用于稳定供电电压的静止无功补偿的有效控制方法。该方法在计算机内存中以表格 形式建立△Q=f(△V)曲线,根据电压偏移量查表控制静补装置的无功功率输出,并在 无功调节过程中动态修改曲线,使之趋近真实情况。仿真结果和动模实验验证了可行性和有 效性。 相似文献
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影响精铸件表面质量的关键因素是型壳表面的质量。介绍采用硅溶胶作为大型熔模精铸件面层涂料粘结剂取代水玻璃粘结剂的试验方法。指出选择价廉且应用广泛的石英粉作面层耐火材料,可有效地提高水泥车连杆主体精铸的表面质量。 相似文献
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