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一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器 总被引:3,自引:0,他引:3
准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳均匀截面位置,并与普通棱镜均匀器进行了比较。实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合。利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布,起伏优于4%,其均匀效果优于普通棱镜均匀器。 相似文献
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城域网标准—DQDB 总被引:3,自引:0,他引:3
局部网的飞速发展迫切要求在更大区域上进行互连,城域网正是为满足这种需求开发的。本文简要地叙述了IEEE802.6城域网的标准——分布排队双总线(DQDB)网的拓扑结构、网络节点的功能体系、帧格式和网络协议,最后分析了DQDB网的特性及其应用潜力。 相似文献
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单片机在内燃机瞬时转速测量中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
从分析内燃机瞬时转速的测量原理入手,论述了内燃机瞬时转速的测量现状及存在的不足,并通过实验把AT89C51单片机应用于内燃机瞬时转速的测量中,实现了数据的存储与发送,满足了不同的瞬时转速的测量要求。 相似文献
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凌志浩 《电气电子教学学报》2010,32(3):93-95
笔者在叙述"现场总线控制系统"课程特点和教学目标的基础上,梳理了本课程的教学线索,总结了基本的教学内容及其相互关系,依据工程教育理念和案例教学主线,本文探索了《现场总线控制系统》教材的编著思路和内容规划,并通过教学实践取得了良好的教学效果。 相似文献
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