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101.
By using scanning polarization force microscopy,the deliquescence process and the atomic steps on the cleavage surface of CaCO3 in air were studied in situ.Under an exposure to medium umidity(-57%),the sloiw step movement has been observed. 相似文献
102.
草酸二乙酯气相催化加氢合成乙二醇的研究 总被引:12,自引:0,他引:12
对草酸二乙酯气相催化加氢生成乙二醇反应进行了实验研究。研制了不含铬的铜基催化剂,并考察了催化剂的制备条件对反应结果的影响。结果表明,Cu/SiO_2质量比为0.67,活化温度为350℃时最佳。在上述催化剂制备的基础上,提出了最佳反应条件。 相似文献
103.
Li Xi Zuoyan Peng Wei Fan Kui Guo Gu Jianmin Muyu Zhao Wu Guoqiang 《Materials Science and Engineering: B》1996,40(2-3):147-152
SrMgxTi1 - xO3 nanocrystals (x = 0.1–0.6) were synthesized by the stearic acid gel method. Powder samples were characterized by X-ray diffraction and X-ray photoelectron (XP) spectroscopy. The results showed that the lattice parameter a and the O 1s XP spectrum changed not only with the Mg content x but also with the grain size d of the samples. The conductivity of a thick film specimen fabricated on an aluminium oxide wafer was investigated in a nitrogen—oxygen atmosphere. 相似文献
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108.
Harame D.L. Comfort J.H. Cressler J.D. Crabbe E.F. Sun J.Y.-C. Meyerson B.S. Tice T. 《Electron Devices, IEEE Transactions on》1995,42(3):455-468
A detailed review of SiGe epitaxial base technology is presented, which chronicles the progression of research from materials deposition through device and integration demonstrations, culminating in the first SiGe integrated circuit application. In part I of this paper, the requirements and processes for high-quality SiGe film preparation are discussed, with emphasis on fundamental principles. A detailed overview of SiGe HBT device design and implications for circuit applications is then presented 相似文献
109.
2-D dopant profiling in VLSI devices using dopant-selectiveetching: an atomic force microscopy study
We report a detailed mapping of a 2-D dopant profile on a fully processed industrial sample with large dynamic range and high spatial resolution by utilizing a dopant-selective etching process and Atomic Force Microscopy. The experimental results show excellent agreement with those obtained from SRP and SIMS as corroborative methods. We also discuss the most critical factors which influence the applicability, reproducibility, and reliability of this method 相似文献
110.
Chun Hu Ji Zhao Li G.P. Liu P. Worley E. White J. Kjar R. 《Electron Device Letters, IEEE》1995,16(2):61-63
The effects of the plasma etching process induced gate oxide damages on device's low frequency noise behavior are investigated on MOSFET's fabricated with different field plate perimeter to gate area ratio antennas. Abnormal 1/f noise spectrum with a shoulder centered in the frequency range of 100 and to 1 kHz was frequently observed in small geometry devices, and it is attributable to a nonuniform distribution of oxide traps induced by plasma etching process 相似文献