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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
62.
63.
空调系统应用于普通房间可能引起空调病 ,应用于医院时此问题将更为突出 ,本文对此类建筑在空调系统设计中应重视的有关问题进行了初步探讨 相似文献
64.
65.
映秀湾水力发电总厂计算机监控系统建设较早,因受当时计算机应用技术限制,使得目前运行的计算机监控系统存在很多不足之处,为此,提出对该系统进行改造的设想,旨在能进一步满足映电总厂“无人值班”(少人值守)和安全经济运行的需要。 相似文献
66.
High speedsteel (HSS) ,ischaracterizedbyex cellenthardness ,wearresistance ,and goodredhardness .Recently ,HSSisappliedtomanufacturehotrollingrollstoproducestripsofgoodshapeandsmallcrownwithextendedrollservicelife[1,2 ] .TheHSSisappliedtomanufacturerollcollarfor… 相似文献
67.
分析了共同配送的工作程序、建模方法及相关算法。采用基于面向对象的结构化的建模分析方法和eM-plant仿真平台,建立了共同配送的仿真模型。将电子地图导入仿真模型,并运用启发式算法自动规划出车辆配送路线,同时考虑各种确定性与不确定性因素对模型的影响。选用实例验证了该仿真方法。 相似文献
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药物预防HIV传播是人类战胜HIV的重要手段。现将预防HIV感染药的研发现状,抗HIV药在预防母婴传播,暴露前后预防的研发和应用动态作一综述。 相似文献
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在小流域的设计洪水推求中,由于缺乏实测洪水资料,一般通过设计暴雨来推求设计洪水。在计算设计暴雨过程中,用以点代面推求流域面平均雨量的变差系数Cv时,通过高程改正得到的变差系数Cv值更符合本地区分布规律。 相似文献
70.
阐述静态电子轨道衡诸多优点;工作原理、允许误差及误差分配;轨道衡的结构组成部分、解析各部分的工作特性及技术指标要求;合理选配及推荐实例. 相似文献