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大面积脉冲电子束对模具的精整与表面改性 总被引:2,自引:0,他引:2
使用电子束进行加工,一般都是把电子束经过聚焦变成很细的高密度能束之后,用于精密切割和高功能精密焊接等方面的加工.与此相反,这里将要介绍的电子束照射装置是通过特殊的技窍能对大面积产生较均匀的高能量密度的电子束.该装置原本是为代替义齿、义床制作中的手工抛光作业而开发的. 相似文献
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一、前言用LSI多层布线技术的器件表面台阶形状越来越趋于复杂化、高纵横尺寸比化。因此,面对层间绝缘膜的要求,如何消除高纵横尺寸比布线间的掩埋和布线台阶问题,一年比一年要求严格,而使网复杂的层间绝缘膜成膜。本义介绍的内容就是上述的掩埋工艺技术。以往,人们都使用具有叠层结构的工艺,而这种叠层结构是由等离子TEOS/SOG/等离子TEOS或者等离于TEOS/臭氧TEOS/等离子TEOS等组合而成的。但是,到了亚微米时代,即使用以上那样的工艺亦可得到布线间的优良的膜质,而且能防止产生间隙,么是一个难题。由于间隙的存在… 相似文献
997.
气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评 ,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积 (PCVD)的优势、进展及其在工模具领域的应用 相似文献
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抽象出了两种简单的枝品形态,通过对凝固过程中固液界面传质过程的分析,对Flemings的“局部溶质再分配方程”进行了修正。考虑了固相中的扩散,提出了更为一般的局部济质再分配方程。结合具体的凝固过程,选择恰当的参数,该方程可用于宏观偏析和微观偏析的计算及非平衡凝固条件下第二相和非平衡共晶析出量的估算。 相似文献