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通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。 相似文献
52.
多孔Al2O3湿度传感器的湿敏电容理论模型 总被引:3,自引:1,他引:3
建立了一种新型的多孔 Al2 O3 湿度传感器湿敏电容模型,以电容作为感湿特征量的理论分析变得更加明确直接。该模型理论分析曲线与实际测量曲线吻合说明了其正确性。 相似文献
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给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤。结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究。分析结果表明,在120V和160V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角。优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度。 相似文献
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激光诱导荧光检测技术 总被引:4,自引:1,他引:3
激光诱导荧光(LIE)检测作为目前灵敏度最高的检测技术之一,在生物、化学、医学等领域应用广泛,其本身的技术发展也十分迅速.综述了近年来LIF检测系统、荧光探针、荧光分析技术和应用领域的进展,重点介绍了LIF激光光源、光纤光路LIF系统、多通道LIF系统以及LIF成像的最新进展和应用前景. 相似文献
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