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首次将超声处理引入UV-LIGA工艺中,研究了超声处理对SU-8胶模溶胀的影响,并探讨了其影响机理,从而获得了减小胶模溶胀及提高电铸微器件尺寸精度的方法.试验研究了超声处理对显影过程及电铸过程中SU-8胶模溶胀的影响,分析了不同超声时间下SU-8胶表面亲水性的变化趋势,并计算了不同超声时间下胶模的溶胀去除率.讨论了超声处理对不同结构微器件尺寸精度的影响.试验结果表明:SU-8胶模在显影过程中的溶胀不明显,并且超声处理对显影过程中胶模的溶胀影响很小,其主要影响SU-8胶模在电铸过程中的溶胀.随着超声时间的增加,胶模溶胀及其表面亲水性均呈现先减小后增大的趋势.当超声时间为10 min时,胶模溶胀最小,其溶胀去除率a值可高达70%,并且超声处理后电铸微器件的尺寸误差与结构尺寸无关.根据超声波的机械断键作用与聚合物吸水机理,从亲水性和内应力两个方面,探究了SU-8胶模溶胀随超声时间的增加而变化的原因.文中提出的减小SU-8胶溶胀的方法不依赖于工艺参数也不会增加掩模图形设计的复杂性,是一种实用的减小SU-8胶溶胀的新方法. 相似文献
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为了提高青芥辣中辣根的水解度,改善青芥辣产品品质,特在以辣根粉为原料加工青芥辣的过程中对辣根水解度进行了研究.作者研究了温度、时间、pH值以及抗坏血酸(VC)添加量四因素对青芥辣中辣根水解度的影响.单因素试验及正交试验的结果显示:最佳水解条件为温度60℃、时间lh、pH值5.0、抗坏血酸(VC)添加量0.2 mg/g.以上结果为进一步提高青芥辣中辣根水解度提供参考. 相似文献
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研究了即食鲮鱼饼工业化生产的关键工艺条件,分析了几种加工辅料对鲮鱼饼质构的影响,确定了制作鲮鱼饼的较佳配方。结果表明,几个关键工艺条件为:鲮鱼肉在低温下5倍的清水漂洗2次;擂溃过程,空擂5 min、盐擂20 min、混合擂溃5 min,擂溃完成后的鱼饼于40℃恒温培养箱内凝胶化2 h;油炸(160℃,70 s)、真空包装后经高温高压(115℃,12 min)杀菌。鲮鱼饼配方各成分质量分数为:鲮鱼肉74%、食盐2%、Tg酶0.2%、淀粉10%、肥猪肉10%、香葱0.5%、味精0.5%、水2.8%。 相似文献
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皮尔逊Ⅲ型频率曲线的数值计算方法是水文频率计算中的难点之一。本文对近年来提出的几种数值计算方法进行了分析比较,并推导出了各数值计算方法试算离均系数Φ值的选代公式。最后推荐计算精度高、运算速度快、收敛范围广的级数展开法迭代公式。 相似文献
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山西省滹沱河南庄引水工程是解决忻州地区工业和城市生活用水的引水工程,该工程引水线路长60.52km,引水流量3.17m^3/s,设三级泵站,间扬程329.0m。在选择水泵资料时,就是仔细分析比较《泵类产品样本》,在选取配套电机时,应考虑下列因素,所引水质是否是清水,水泵额定转速和电机额定转速是否配套。不泵制造精度及计算等诸多因素的影响,在计算水泵轴功率的基础上还应乘以动力备用系数K。水泵型谱应尽可 相似文献
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100.
通过对远程各监控点监控,为生产调度指挥提供保障,为领导决策提供依据,并可利用企业现有局域网实现在线监控。 相似文献