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溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜的结构特征研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用溶胶-凝胶方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了光滑均匀的PZT(50/50)铁电薄膜。用XRD、FT-IR反射光谱、Raman光谱以及原子力显微镜(AFM)研究了薄膜随热处理温度的结构变化过程以及薄膜中有机物的挥发。Raman光谱给出了薄膜中三方和四方相共存及转变的结构变化信息。AFM揭示了PZT薄膜中钙铁矿相的形成是从焦绿石结构中转变而来的,其生长机制可用Rosettes生长模型来解释。薄膜中相交约120°交角的3条延伸的界面线则是为了释放薄膜中的应力而产生的。 相似文献