快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响

利用PECVD在硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,将沉积膜后的样品放在N2气氛中进行快速热处理(RTP),研究了不同快速热处理对PECVD氮化硅薄膜件能的影响.采用原子力显微镜(AFM)检测薄膜的表面形貌,利用椭圆偏振仪测量样品膜厚和折射率,利用准稳态光电导衰减法(QSSPCD)测鼋样品的少子寿命.实验结果表明随着RTP温度的升高,薄膜厚度迅速减小,折射率迅速增大;低于500℃热处理时,少子寿命基本不变;高于500℃热处理时,随着温度的升高,少子寿命急剧下降.氮化硅薄膜经热处理后反射率基本不变.     

有线vs电信革命不是请客吃饭

大到地盘,小到电缆传输管道和设备箱,美国有线与电信运营商之间的“战争”愈演愈烈,看似“你死我活”,但各家财报却一片利好。看来,竞争真不是坏事情……     

基于灰度分布和字符紧密性特征的车牌定位方法

根据车牌区域的灰度分布特征,提出一种定位车牌区域的新方法.该方法先利用车牌区域灰度分布特征,对车辆图片进行粗定位并得到车牌上下边界;再根据车牌区域字符紧密性特征,利用垂直投影方法初步得到车牌的左右边界,最后根据字符宽度和间距进一步修正车牌的左右边界.经实验证明,该方法具有在复杂背景下适应性好、抗干扰、实时性好、定位精确等特点.     

2011～2012：彩电步入变革前夜

回顾2011年,从市场来看,液晶电视已经完全确立统治地位,但随着渗透率的不断提升,整个产业开始步入成熟的平台期,受制于全球经济的不景气,业绩表现并未如预期那般乐观。2012年,随着发达市场完成普及,平板电视的重心将全面转向发展中国家和地区。但宏观经济的不确定面并未收窄,增速可能面临不小的压力。     

美国高清电视发展一窥

位于伦敦的市场调研公司InformaTelecoms&Media公司预测,到今年年底,全球将会有2860万台高清电视,其中在美国就有1650万台,在全球所占比例为58%。     

浅谈数控机床的安装调试及维护

数控机床是广泛应用于工业生产中复杂的机械加工设备,本文从数控机床的安装、调试、维护等方面进行了简要的阐述,并结合实例分析了在机床安装、维护方面中常见的问题,从而减小了故障的发生率,延长了机床的使用寿命。     

全面完成水库注册登记 切实搞好水库大坝安全鉴定

为加强水库的制度化、规范化管理，摸清水库的运用现状，确保大坝安全，我省分别于１９９７年底及１９９８年初，开展了全省水库大坝注册登记及陡河、石河水库大坝安全鉴定试点工作，经过各方面的努力，目前已完成了全省１７座大型水库、３９座中型水库的注册登记工作，小...     

淮河“达标”年省界水质评价及对比分析

自1994年5月国务院环委会在蚌埠市主持召开了“第一次淮河流域环保执法检查现场会”后,淮河流域水环境监测中心于1994年6月开始,对淮河流域主要跨省河流省界河段开展了每月一次水质监测,迄今已有四个年头,积累了丰富的系列水质资料,对当前淮河流域的水污染治理和决策、监督起到了重要的作用。1997年是实现淮河流域工业污染源达标排放的关键年,为检验治理成果,淮河流域水环境监测中心加大了监测力度和密度,本文就1997年“达标”年省界河段水     

不同温度下半导体硅势垒的正向I-V特性曲线的汇聚特性

以正向电压为自变量,以正向电流的对数为应变量,以温度为参数得到的p-n结的I-V-(T)特性曲线在第一象限中近似汇聚于一点.汇聚点对应的电压近似等于半导体材料的禁带宽度.汇聚点可以用来获取任意温度下的I-V特性曲线.     

快速热处理对重掺As硅单晶中氧沉淀的影响

对重掺As硅片进行快速热处理，发现重掺As硅片中氧沉淀行为与快速热处理温度、保温时间和降温速度有很大的关系. 随着快速热处理温度的升高、降温速度的增大和保温时间的延长，氧沉淀的密度增大. 最后对影响的机理进行了讨论.