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同轴旋转封闭场的电弧离子镀的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
同轴旋转封闭电弧离子设备瘘有平面电弧离子弧和同轴磁溅控的优点,它在同轴靶上建立电弧放电,并采用肇转封闭磁场将电弧斑约束在长腰形的磁环隙内作螺旋运动,随磁路系统而在阴极靶表面上产生旋转的电弧放电,靶处在镀膜室中央,结构简单,膜层均匀,操作方便,工件架安装在阴阳极之间,其只需自转,无需公转,工件装载量多,利用本设备在手表表壳上镀制氮化钛膜层,其工艺重复性好,膜层与基本结合牢固,有靶材利用率高。 相似文献
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一九八六年全年化工科技发展计划467个课题,绝大多数按计划完成,通过部、司局级技术鉴定139项,其中有88.5%已用于生产建设。同时进行了国家“七五”科技攻关项目的论证、合同签订和招标试点工作。此外,在化工标准化、产品质量监督、科技体制改革、科研面向经济建设以及横向联系等 相似文献
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