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室温下射频磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜及其性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频磁控溅射技术,在室温下,以ZnO:Al2O3(2%Al2O3(质量比))为靶材,在石英玻璃基底上,采用不同工艺条件制备了ZnO:Al(AZO)薄膜。使用扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌,X射线衍射分析了薄膜的结构,四探针测量仪得到薄膜的表面电阻,轮廓仪测量了薄膜厚度,并计算了电阻率,最后采用分光光度计测量了薄膜的透过率;研究了溅射功率、溅射气压与薄膜厚度对薄膜电阻率及透过率的影响。结果表明:所制备的AZO薄膜具有(002)择优取向,并且发现薄膜厚度对薄膜的光电性能有明显影响,溅射气压和溅射功率对薄膜电学性能有较大影响,但是对薄膜透过率影响不大。当功率为1kW、溅射气压0.052Pa、AZO薄膜厚度为250nm时,其电阻率为8.38×10-4Ω·cm,波长在550nm处透过率为89%,接近基底的本底透过率92%。当薄膜厚度为1125 nm时薄膜的电阻率降至最低(6.16×10-4Ω·cm)。 相似文献
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室内设计是一个涉及建筑学、建筑结构、建筑设备、建筑装饰材料、城市规划、生态环保、电子信息、工程管理、工艺美术、园林景观等多学科的专业,是一种按照生产力发展水平、人文历史理念和形式美的法则重新塑造各种室内外空间的环境艺术,具有极强的技术性、艺术性、社会性和经济性。从某种意义上讲,没有杰出的设计作品就不会有优秀的施工成果,设计决定工程的成败。要提高我国建筑装饰业的竞争力,就必须从设计抓起,从设计师抓起。没有高水平的设计师,就创造不出优秀的设计作品,没有一个充满活力奋发向上的设计群体,也就不可能创造出优秀工程。因此,无论是教育、行业还是企业都必须在加强设计师队伍建设方面下工夫。 相似文献
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土建工程的造价长期居高不下,并仍呈上涨趋势。一方面给国家带来极大的浪费,另一方面又影响了建筑行业的蓬勃发展。本文针对这一问题出发,将经济领域的价值工程理论运用到新建厂房空调系统造价的经济评价中,为工程预算和造价评估提出了一条新思路。同时,将功能的定量分析、功能评价中的绝对值法和功能载体的替代这些新思想在空调工程中进行了有益的偿试。 相似文献
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针对现有防伪技术可靠性较低、容易被仿制、防伪成本高昂等问题,基于DeepLabv3,提出一种由热膨胀系数失配产生压缩应力形成随机褶皱防伪标识图.案的识别方法.具体采用深度卷积网络分类算法中DeepLabv3进行分类识别,通过优化全连接层并设置不同的神经元节点,提高识别网络的分类准确率,缩减训练时间,训练准确率达96.5... 相似文献