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光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位。掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率。本文介绍了运动控制中常用的三环PID控制方法。此方法易于调试,控制精度高。分析了磁悬浮平台结构的摩擦阻力特性。通过实验测试及系统辨识得到控制系统传递函数模型后,进行仿真分析,确定了控制器参数。在控制系统中加入扰动信号进行仿真,证明系统在扰动存在下,控制可以达到预期纳米级精度。 相似文献
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光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位。掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率。本文介绍了运动控制中常用的三环PID控制方法。此方法易于调试,控制精度高。分析了磁悬浮平台结构的摩擦阻力特性。通过实验测试及系统辨识得到控制系统传递函数模型后,进行仿真分析,确定了控制器参数。在控制系统中加入扰动信号进行仿真,证明系统在扰动存在下,控制可以达到预期纳米级精度。 相似文献
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为提高医药企业药品销售数据时空分析能力,提供可视化的药品销售数据分析功能,利用GIS技术研究药品销售数据的地理空间属性,建立数据处理模型,并使用ArcGIS Engine二次开发组件,在.NET平台上实现基于地理空间信息的药品销售数据的查询、销售渠道分析、销售业绩分析、药品分销与追踪等功能。实验结果表明,药品销售的时空数据分析以及可视化效果能够满足企业用户的需求。 相似文献
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通过与广东、河南、四川和辽宁等发达省区高职教育的对比分析,发现云南省高职教育虽然成就显著,但仍然存在如教育基础薄弱、地区院校发展不均衡、不能完全适应桥头堡战略需求、国际合作交流不足等问题。面对新形势、新问题、新机遇,探讨了推进云南省高职教育创新发展的几项对策:理顺高职教育的体制机制,促进地区高职院校均衡发展,提升高职院校专任教师数量与质量,调整优化专业设置,加强高职院校内涵建设,合理配置教育资源,提升面向产业升级培养新型人才的能力,搭建继续教育服务平台,推进多形式国际合作交流。 相似文献
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随着数字技术发展和信息全球化的发展,新媒体技术进行不断更新换代,单一传统电视已不能满足大众的需要。在信息发达的现代社会,传统电视被迫变革转型,出现了网络电视、数字电视等多种形式,由于受政策、技术等方面影响,基于数字技术的电视新媒体的发展与转型需要得到国家关注与支持。基于数字技术的电视新媒体转型是时代发展的重要特征,有利于推动新的电视媒介和传播形地态形成,对社会、公众会产生重要影响。 相似文献
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为了解决新安矿采用常规回转钻进方式进行底板灰岩水害超前探查钻孔施工存在轨迹无法有效控制、钻孔深度小、存在治理空白区域的问题,提出了利用大功率定向钻进装备施工定向长钻孔来解决以上问题的技术方案,为了保证超前探查效果,进行了目标层精准定向钻进技术研究,同时,针对灰岩层出水后常规注浆加固方式存在的水泥堵孔问题,研究了孔内局部注浆加固技术。利用成套装备与技术,成功在新安煤矿15150综采工作面下部底板巷施工了2个孔深超过500 m的超前探查长钻孔,探清了该底板岩巷掘进方向前500 m范围底板奥灰含水情况,并在1#孔深280 m处成功实施了孔内局部注浆,注浆压力达到8 MPa,总注浆量达到514 t,在煤矿井下首次实现了孔内局部注浆,并取得了良好的注浆加固效果,为该底板岩巷的安全掘进提供了安全保障。 相似文献
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