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采用离子腐蚀在硅片上制作5~10微米厚、约1厘米直径的薄窗口。这个方法允许所用离子源的变化范围很宽,并在直径为1厘米的面积上提供每小时20微米的腐蚀速度。窗口的表面是平坦而光滑的镜面。窗口的边缘是陡峭的并为离子束的方向所确定。在本实验装置中,被腐蚀的材料起着阴极作用,所以,这个方法只适用于电导材料。 相似文献
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西北铅锌冶炼三利用锌精矿烟气制硫酸,干吸塔设计首次采用球形塔底,取消了塔平台,转化器采用大蓄热量结构,保温效果好,介绍了硫酸系统的流程及运行情况,评述了硫酸系统的设计,探讨了干吸塔循环泵,耐腐蚀材料的选择问题。 相似文献
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