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电子级多晶硅生产工艺的热力学分析 总被引:1,自引:0,他引:1
基于Gibbs自由能最小原理,对SiHCl3法生产电子级多晶硅闭环工艺的3个反应子系统分别进行了化学反应平衡计算,重点对SiHCl3还原反应子系统进行了热力学分析. 对于SiHCl3还原反应子系统,适宜的操作温度为1323~1473 K,压力为0.1 MPa;温度高于1323 K,H2/SiHCl3比大于6.6,低压下有利于SiHCl3还原生产多晶硅. 针对传统的SiHCl3还原需要高温下电加热给过程操作带来的诸多不便,提出了用Cl2部分氧化使SiHCl3还原反应体系实现能量耦合的新工艺,即反应过程不需外部加热就可完成,从而节约电耗,同时还发现平衡时体系中加入的Cl2能反应完全,不会影响后序工艺的进行. 对于SiCl4转化反应子系统,高压、低H2/SiCl4比有利于生成SiHCl3. 相似文献
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简述煤制乙二醇中草酸二甲酯加氢催化剂末期运行情况,依据不同工业生产参数变化及生产状态对加氢系统催化剂进行更换,对多次更换催化剂过程总结采用不钝化惰性气体环境下卸出,操作安全而且节省时间和成本,更换后的催化剂运行正常,并综述当前铜基催化剂的研究方向以改善催化性能和使用寿命。 相似文献
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根据BET方法,利用物理吸附仪对活性炭、新鲜催化剂和废旧催化剂比表面积、孔结构的测定比较,并对其脱附等温孔容积分数据与孔径做图进行比较,从数据及直观的角度,说明了物理吸附仪在PVC工厂检验中应用的必要性。 相似文献
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李国栋 《稀有金属材料与工程》2000,10(5):289-292
综述了1998年~199年间若干磁性功能材料研究和应用新进展。其内容包括:(1)磁传感器新材料;(2)六角晶系微波铁氧体材料;(3)大容量自旋阀磁存储器;(4)磁薄带和磁薄膜变压器;(5)大功率应用的铁氧体材料。 相似文献
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西北某铅锌矿是一个矿物成分复杂、铅锌矿物分布极不均匀、嵌布粒度细微、嵌布关系复杂、单体解离难度大、脉石矿物硬度高的大型难选铅锌矿床。为确定该资源的开发利用方案,采用优先浮选工艺对该矿石进行了选矿试验。结果表明,在磨矿细度为-0.074 mm占85%的情况下,采用1粗1扫3精选铅(铅精选前再磨至-0.045mm占95%)、1粗1扫2精选锌、中矿顺序返回的闭路流程处理该矿石,可取得铅品位为60.45%、含锌8.90%、铅回收率为75.95%的铅精矿以及锌品位为51.60%、含铅0.31%、锌回收率为87.39%的锌精矿,该选矿工艺方案是该矿石的高效开发利用方案。 相似文献
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