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21.
真空蒸发制备ZnTe薄膜性能
李蓉萍
荣利霞
《太阳能学报》
2002,23(3):293-297
利用真空蒸发技术在玻璃衬底上获得ZnTe薄膜,在室温下利用Zn和Te单质制备ZnTe薄膜成膜困难且性能起伏不定,通过对不同工艺条件的比较选择,发现在衬底温度大于90℃时制备的样品是一种性能稳定具有良好光学特性的薄膜,提高衬底温度后,ZnTe薄膜具有沿[002]晶向择优取向,并由灰黑色不透明变成砖红色透明,透过率在可见光范围内明显升高。
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