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为实现碳化硅晶片的高效低损伤抛光,提高碳化硅抛光的成品率,降低加工成本,对现有的碳化硅化学机械抛光技术进行了总结和研究。针对碳化硅典型的晶型结构及其微观晶格结构特点,简述了化学机械抛光技术对碳化硅材料去除的影响。重点综述了传统化学机械抛光技术中的游离磨料和固结磨料工艺以及化学机械抛光的辅助增效工艺。同时从工艺条件、加工效果、加工特点及去除机理4个方面归纳了不同形式的化学机械抛光技术,最后对碳化硅的化学机械抛光技术的未来发展方向进行了展望,并对今后研究的侧重点提出了相关思路。 相似文献
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说明了利用保护装置实现供配电系统电源自动转换系统的转换方法和转换条件,详细叙述了电压测量点的设置、事故转换启动及过电流闭锁配合,以及电压回路、断路器操作回路、断路器状态辅助控制回路及电气设备位置的监测方法,提出的多投法解决了源转换和联转换与双转换的统一,简化了双转换的操作逻辑,提高了电源自动转换系统的可靠性。 相似文献
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对复合型洗涤冷却室内气相液滴夹带过程进行了冷态实验研究。考察了气体速度、雾化器的出水流速、降膜冷却水流量、雾化器空间位置等因素对气相液滴夹带分率的影响规律。研究结果表明,液滴夹带分率随床层表观气速、冷却水流速的增加均呈上升趋势,而其在径向上的分布相对较为均匀;雾化器数量从2个增为4个将使液滴夹带量降低约40%,即增加雾化器数量能有效降低气相的液滴夹带分率。通过实验数据拟合得出冷却室内液滴夹带分率与条件参数的经验关联式。 相似文献
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电容式电压互感器(CVT)因为绝缘强度高、测量工频电压准确的优点,在电力系统中的运用十分广泛。由于雷电过电压、操作过电压等暂态信号时常在电力系统内发生,但CVT只能准确传递工频信号,而传递非工频信号将产生不同程度的失真。因此,首先利用黑盒模型基于CVT的端口参数进行宽频建模,再通过网络分析仪测量其散射参数并利用矢量匹配法和福斯特等值电路理论转化为π型等值电路;最后通过雷电冲击实验得到的CVT高压输入波形,利用贝杰龙法和支路电流矩阵法计算,成功得到与测量结果近似相同的二次侧输出波形,验证了模型的正确性。 相似文献
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本文从分析知名厂商的典型机型入手,对中小口径钻探设备如何实现多功能化进行了总结,论述了不同工艺的适用性、多机具适配、多结构的变化、多工法的嫁接等方式来实现多功能,便于国内钻探设备研制时借鉴。 相似文献
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沙洋镇位于沙洋"金土地"一期项目调查区的南部,在本研究项目工区沙洋镇、马良镇、高阳镇三镇中土地利用方式最为丰富。为了发现不同土地利用方式下土壤汞元素的含量特征,以及揭示在小范围内土壤汞对土地利用的响应,选取研究区中主要七类土地利用方式,即水田、旱地、滩涂、林地、草地、水面、建设用地,将不同土地利用方式下采样的土壤汞金属数据进行统计分析和空间克里金插值成图,结果表明,土壤汞元素在不同土地利用情况下含量有显著差异;汞元素在水田土壤含量均值最高,达到0.078 mg/kg,其次是滩涂,其均值是滩涂用地土壤的1.04倍,是建设用地土壤的1.13倍,是旱地土壤的1.66倍,是草地土壤的1.85倍,是水域土壤的1.96倍,是林地土壤的2.03倍;土壤汞元素在城市建设用地中均出现了最高值,其次是水田。在今后的土壤汞环境治理中应予以高度重视水田和建设用地两类土地利用方式,林地和水面土地利用方式下土壤汞元素含量较少。在沙洋城市建设用地中增加林木绿化,对发生汞增多的水田进行水域化改造,或许可以避免土壤汞过量风险。 相似文献