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对离子束外延氧化铈/硅热处理行为的初步研究 总被引:2,自引:0,他引:2
对不同的O,Ce束流比条件下用离子束外延(IBE)方法生长的氧化铈/硅薄膜在热处理前和在干氧气氛中经不同温度热退火后进行了俄歇电子能谱(AES)深度剖析测量.结果显示出在Si衬底上生长的具有正化学配比的CeO2和林的低价氧化物具有明显不同的热处理行为,对与此有关物理过程作了初步探讨.结果还表明IBECeO2/Si结构经高温处理后在界面上形成了一层SiO2,而外延层内的化学配比可接近正常值,从而显示出该材料工作温度尚可提高的可能性. 相似文献
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储层发育受沉积、成岩、构造运动等诸多因素影响。靖边气田下古气藏属古风化壳气藏,储集层主要受控于古岩溶作用。靖边气田主力气层马五段主要经历了早表生期、裸露风化期、半裸露浅埋藏期,中深埋藏器、深埋藏器五期岩溶作用,这些作用互相叠加,形成了古风化壳岩溶孔洞储集体。在这五期岩溶过程中,裸露风化期属全开放的环境,马五段地层与生物圈、大气圈二氧化碳环境直接联系,作用最为强烈,影响作用也最大。本文重点针对裸露风化期的岩溶作用特点及岩溶差异性对储层发育的影响做以阐述,旨在寻找不同小层可能的储层发育有利区。 相似文献
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