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高效率平面磁控溅射器的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm~2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos~nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。 相似文献
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分析了热镀钢丝自液池引出过程中的热传导,得出了温度分布的解析解,从而计算钢丝表面膜层达到凝固温度时的提抽高度,为结构设计及确定冷却装置的合理位置提供依据。 相似文献
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BOLT the breechblock or breechbolt that seals breech end of barrel. 枪机:密封枪管尾部的枪栓或闭锁装置. 相似文献