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传统钙钛矿材料微缩后难以保存铁电性,并且与CMOS的兼容性差,而薄至10 nm以内的铪锆氧化物(HZO)材料仍然具有铁电性且与CMOS兼容性好,这弥补了传统钙钛矿的本征短板,备受学界和产业界关注,有望替代动态随机存储器应用于非易失性铁电存储器(FERAM)和铁电晶体管基集成电路中。基于目前应用最广泛的TiN/HZO/TiN堆栈,采用具有高端应用前景的原位ALD技术生长TiN电极,很好地控制了电极层的生长速度及其纳米级的膜厚。研究了堆栈界面元素扩散问题,通过飞行时间二次离子质谱技术发现了界面元素的外扩散现象,采用角分辨X射线光电子能谱研究了外扩散行为的机制,提出了一个可能的理论解释,即由于TiN和HZO之间发生了氧化还原反应引发表面活性剂效应,导致界面元素外扩散。本研究将为HZO基FERAM的应用奠定基础。
相似文献25.
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2015年启动的新一轮电力体制改革明确提出了“以配售电市场放开”为主要内容的改革路径,同时强调了市场公平竞争。随着电力体制改革的推进,电网企业所面临的内外部环境也发生了较大变化,其如何合理合规、有效高效地参与电力市场竞争性业务值得关注。本文梳理和总结了我国配售电市场改革进展;根据对配电和售电市场发展情况,针对现阶段电网企业如何依托自身优势参与竞争性业务,提出了适应性策略;为适应未来市场发展需要,从短期发展和长期发展两个维度提出了电网企业在增强电力用户粘性的增值业务及保障措施。 相似文献
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矩阵变换器调制策略是实现其功能并保证系统稳定可靠运行的一个重要环节,适当的调制策略可以提高其电压传输比,减少换流次数,节省功耗,改善输出波形质量。占空比矢量调制策略是一种具有普遍意义的调制策略,通过选取特定的自由参数和自由矢量实现不同的调制策略。采用矢量分析方法对占空比矢量调制策略中的自由参数和自由矢量进行深入研究,得到它与其他调制策略的具体内在联系,并提出了一种基于该调制策略的优化方案。该方案构造了自由矢量新的表达式,使矩阵变换器能减少换流次数及波形失真,从而改善波形质量,同时仍能得到最大电压传输比值0.866。通过实验验证优化方案的正确性和可行性。 相似文献
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用微波固相法制备了Mn(Salen)/NaY催化剂, 并对其催化β-蒎烯环氧化反应的性能进行了考察。FT-IR结果表明,微波固相方法和常规方法均能成功地将Mn(Salen)络合物包合于微孔分子筛NaY。与常规法制备的催化剂相比,微波固相法制备的Mn(Salen)/NaY催化剂对β-蒎烯环氧化具有很高的转化率和选择性,并且重复使用后催化活性变化不大。 相似文献