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具有锁频/锁频-锁相两种工作模式的CMOS数字锁相环 总被引:1,自引:1,他引:0
提出了一种新型的数字锁相环(DPLL),它具有锁频(FL)和锁频-锁相(FPL)两种工作模式,在FL和FPL两种工作模式下分别可以获得较低的频率抖动和相位噪声。并采用自校准技术,具有快速锁定,低抖动,工作频率范围宽的优点。 相似文献
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微磨料水射流技术及其应用 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用.在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上,提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术.对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论.研究表明,为了产生射束直径100 μm以下的微磨料水射流,必须采用湿式磨料,同时完全避免空气进入.采用300 nm至8 μm氧化铝浆液磨料和Φ40-50 μm喷嘴,应用运载方法可以产生束径达Φ40-50 μm级的微细加工磨料水射流.在同样水压力下,其切割的能量密度是普通磨料水射流的4~5倍.微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景. 相似文献
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20.
套阀式液压冲击器结构简单生产成本相对较低,可广泛应用于破碎机及凿岩机等。本文对液压冲击器的活塞、套阀、液压缸进行了优化设计、进行了防后撞及防空打设计并进行了套阀式液压破碎锤结构的动画仿真设计和三维设计。 相似文献