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通过低磨料浓度下催化反应对铜膜抛光速率的影响,证实了纳米SiO2胶体作为催化反应物可以极大地提高铜膜表面的化学反应速率。通过浸泡在不同磨料浓度抛光液中的铜电极表面腐蚀电位和腐蚀电流数值,进一步证实了催化反应能够加速凹处钝化膜的生成,并确定了在静态腐蚀条件下催化反应速率转换临界点所对应的纳米SiO2溶胶浓度为0.1vol%和1vol%。根据催化反应对铜晶圆各平坦化参数的影响,确定了低磨料CMP的最佳纳米SiO2溶胶浓度为0.3vol%,此时铜晶圆的抛光速率、台阶消除量、平坦化效率、碟形坑高度和腐蚀坑高度分别为535nm/min、299nm、56%、103nm和19nm。 相似文献
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阐述BIM技术的特点,BIM技术导向下的校企合作模式中的问题,提出新型校企合作模式,包括共建BIM实训基地、BIM项目的建设、软件开发企业参与项目全流程。 相似文献
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为了研究不同压力和不同模板对InAlN薄膜外延生长的影响,分别选取以GaN为模板时生长压力为4.00、6.67和13.33 kPa,压力为4.00 kPa时模板为GaN和A1N这两组条件进行实验比较.研究发现,随着生长压力的增加,样品中In含量降低,样品的粗糙度则随压力的增加而增大;压力为4.00 kPa时,分别以摇摆曲线半高宽(FWHM)为86.97”的AIN和224.1”的GaN为模板,发现A1N模板上生长的InAIN样品(002)和(102)峰的FWHM值及表面粗糙度比上述GaN为模板生长的InAlN样品都要小很多.综合以上结果可初步得知:降低压力可以优化InAlN薄膜的表面形貌,增加In组分含量;采用高质量的AIN作模板能生长出晶体质量和表面形貌都比较好的InAlN薄膜. 相似文献
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<正> 一、递纸牙的运动轨迹 J2108、J2205胶印机采用的是旋转偏心摆动递纸牙结构。其递纸牙的运动是由递纸牙摆动凸轮驱动的连杆机构的往复运动及由偏心轴承带动的旋转运动组成的复合运动。在印刷机的周转中,形成了滴水状封闭曲线的运动轨迹。 相似文献
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发烟罐是对近地激光类武器系统实施无源干扰的有效手段,研究其烟雾质量浓度时空分布特性,是准确获取激光在烟雾环境下传输特性的基础。基于离散相扩散模型,采用计算流体力学软件Fluent对一种小型发烟罐的烟雾扩散过程进行仿真模拟。分析烟雾释放后不同阶段的质量浓度时空分布特性,以及风速、质量流率等参数对烟雾扩散速度、质量浓度分布的影响规律。结果表明:无风时,烟雾在喷涌阶段呈伞状,停止喷涌后烟雾在弥散阶段呈团状并存在一个质量浓度较大的烟环;在仿真设定条件下最佳风速在2~3 m/s附近;烟雾的空间质量浓度与质量流率呈线性关系;所得成果可为下一步研究近地激光类武器系统抗烟雾干扰性能提供技术参考。 相似文献
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统一建模语言UML是一种面向对象的标准建模语言,它融入了软件工程领域的新思想、新方法和新技术。文章以某超市管理系统的收银子系统的开发为例,详细阐述了UML语言在MIS系统建模过程中的应用及其对于加速MIS系统开发进程和提高代码质量的重要性。 相似文献
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为研究不同烹调方法对蔬菜中烟酸含量的影响,对7种蔬菜(白萝卜、胡萝卜、豇豆、扁豆、茄子、土豆、菠菜)采用6种不同烹调方法(炒、炖、腌、蒸、焯、炸)进行处理,用微生物法测定其鲜样和烹调后样品的烟酸含量。以烹调至可食用状态为标准进行比较。蔬菜经6种不同烹调方法处理后,其烟酸保存率大部分在60%以上。经过炒、炖处理后的蔬菜中烟酸保存率较高;经过焯和大量失去水分的腌,蔬菜中烟酸保存率较低。其中炸扁豆、炒胡萝卜、炒茄子烟酸含量与其鲜样相比差异无显性意义(P>0.05),其它烹调后样品烟酸含量与未处理的鲜样比较差异均有显性意义(P<0.01)。本研究结果对食品工业加工方法具有指导意义和参考价值。 相似文献