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采用分子动力学模拟方法研究了300K入射能量150eV时,以不同角度(5°、30°、60°和75°)入射的SiF3+与SiC表面的相互作用过程。模拟中使用了用于Si-F-C体系的Tersoff-Brenner势能函数。模拟结果显示,入射SiF3+与SiC表面相互作用后会分解,分解率随着入射角度的增加而减小。分解产物除少量散射外,大部分会沉积在SiC表面,Si和F在SiC表面的平均饱和沉积量随入射角度的增加而减少。随着SiF3+不断轰击SiC表面,SiC表面会形成Si-F-C反应层,且反应层厚度随着入射角度的增加而减少。同时发现SiC中的Si原子较C原子更容易被刻蚀,与实验结果一致。当刻蚀达到稳定,入射角度为5°、30°、60°和75°时,C的刻蚀率分别约为0.026、0.038、0.018、0.005,Si的刻蚀率分别约为0.043、0.051、0.043和0.023。各入射角度下,产物分子种类主要为F、SiF和SiF2。F和SiF产物量随入射角度增加而增加,而SiF2产量随入射角度增加而减少。在入射角度等于5°和30°时,SixFyCz是主要的含C产物;而在入射角度等于60°和75°时,CF是主要的含C产物。在入射角度等于5°和30°时,SiF2是主要的含Si产物;在入射角度等于60°和75°时,SiF是主要的含Si产物。刻蚀主要通过化学增强的物理溅射进行。 相似文献
62.
63.
深入探讨了综合集成智能化系统的组成和特点,阐述了系统的功能,并结合工程实例进行了说明,指出人防工程综合集成智能化系统具有功能丰富,配置灵活,可扩展性好等优势,适用各种防护等级和规模的人防工程。 相似文献
64.
根据MIMO雷达工作特性,提出了针对单基地MIMO雷达的干扰方式,详细分析了其工作原理。在此干扰方式的基础上,针对采用线性调频信号的单基地MIMO雷达,推导了卷积干扰对其进行干扰的数学模型,分析了干扰信号的时频特性。理论分析证明,卷积干扰对LFM-MIMO雷达具有显著的干扰效果,而且采用的卷积信号不同,可以实现对MIMO雷达的假目标欺骗干扰和噪声覆盖干扰两种效果。最后,仿真实验表明理论分析的正确性。 相似文献
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为了提高小麦淀粉凝胶的冻融稳定性,研究了单硬脂酸甘油酯对小麦淀粉凝胶晶体结构、热力学特性及质构特性的影响。结果表明,X-射线衍射图显示样品中含有V-型结晶结构,说明单甘酯与淀粉结合形成了淀粉-单甘酯复合物;差示扫描量热仪测定显示,淀粉凝胶样品含有直链淀粉重结晶的熔融峰和淀粉-单甘酯复合物的熔融峰,复合物熔融焓显著小于淀粉凝胶熔融焓;经过5次冻融循环,小麦淀粉凝胶中淀粉分子发生了重结晶,淀粉凝胶的结晶度从15.37%增大至18.75%,而添加单甘酯形成复合物的淀粉凝胶结晶度从13.98%增大至17.35%;随着冻融循环增加,小麦淀粉凝胶中支链淀粉重结晶的熔融焓增加显著大于含复合物淀粉凝胶中支链淀粉重结晶的熔融焓增加,并且小麦淀粉凝胶硬度显著大于含复合物淀粉凝胶硬度。说明单甘酯与淀粉形成复合物能提高小麦淀粉凝胶的冻融稳定性。 相似文献
66.
对实际激光光束M2因子的计算测量作了一些讨论,给出了两种计算测定实际激光束M2因子的新方法:由光束不同截面的光斑半径来得到M2因子;测得激光束某个截面的光强分布求出激光束的M2因子. 相似文献
67.
立足国有大中型企业走向市场经济、传统内部审计向效益审计延伸,从合理立项、提高审计人员素质、科学选定审计标准和有关部门通力配合等方面,阐述了搞好内部效益审计的新思路。 相似文献
68.
SIP应用的安全性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了SIP的体系结构后,重点分析了SIP协议的安全模型,及针对典型攻击解决方案,介绍了在3G无线网络、NGN等典型应用场景中SIP的安全解决方案。通过对不同安全方案的对比,结果显示SIP应用在不同的场景下,需要采取不同的安全框架模型及具体实现策略。 相似文献
69.
以先秦文献中用《诗》较多的典籍——《左传》,结合其用《诗》情况,考察《诗经》中的《雅》,提出《雅》诗首先是政治诗,《雅》的编组以其政治内容为标准的观点;另外,《左传》中的逸诗无论在内容上,还是风格上都近于《雅》诗,更归属于《雅》诗一类。 相似文献
70.
<正>(续2009年第17期"环球IT"栏目)3教学策略及实施3.1课程教学进程结构NYP的专业学习设计为3年,第1、2学年全日制在校学习专业基础课程,完成理论学习与实践技能的基本 相似文献